| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 文中使用的缩写与中英文对照表 | 第11-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 课题的来源 | 第12页 |
| 1.2 研究的背景和意义 | 第12-13页 |
| 1.3 国内外发展现状 | 第13-21页 |
| 1.3.1 MEMS光开关与光纤对准发展现状 | 第14-15页 |
| 1.3.2 硬接触式微夹钳发展现状 | 第15-17页 |
| 1.3.3 真空吸附式微夹钳发展现状 | 第17-19页 |
| 1.3.4 复合式微夹钳发展现状 | 第19-21页 |
| 1.4 课题的主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 复合式微夹钳构型设计 | 第23-29页 |
| 2.1 光纤相位对准与搓动操作的运动分析 | 第23-24页 |
| 2.2 复合式微夹钳构型设计要求 | 第24-25页 |
| 2.3 复合式微夹钳整体构型设计及原理分析 | 第25-26页 |
| 2.3.1 复合式微夹钳构型建立 | 第25-26页 |
| 2.3.2 复合式微夹钳工作原理 | 第26页 |
| 2.4 复合式微夹钳操过过程分析 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 复合式微夹钳综合分析与建模 | 第29-49页 |
| 3.1 复合式微夹钳柔性铰链的分析 | 第29-31页 |
| 3.2 复合式微夹钳位移特性及受力分析 | 第31-36页 |
| 3.2.1 复合式微夹钳位移特性分析 | 第32-34页 |
| 3.2.2 光纤对准及搓动过程受力分析 | 第34-36页 |
| 3.3 真空吸附微夹钳力学模型建立 | 第36-37页 |
| 3.4 复合式微夹钳有限元分析 | 第37-47页 |
| 3.4.1 复合式微夹钳结构的有限元建模 | 第38-41页 |
| 3.4.2 复合式微夹钳机构位移、刚度及应力仿真分析 | 第41-46页 |
| 3.4.3 复合式微夹钳夹持力及刚度仿真分析 | 第46-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 复合式微夹钳样机制备及驱动控制单元设计 | 第49-61页 |
| 4.1 复合式微夹钳样机制备 | 第49-51页 |
| 4.1.1 复合式微夹钳本体材料的选择 | 第49-50页 |
| 4.1.2 复合式微夹钳制备工艺过程 | 第50-51页 |
| 4.2 压电驱动单元设计与制备 | 第51-53页 |
| 4.2.1 压电陶瓷致动器选型 | 第51-52页 |
| 4.2.2 压电陶瓷驱动电源选型 | 第52-53页 |
| 4.3 真空单元设计与制备 | 第53-56页 |
| 4.3.1 真空气路的制备及安装 | 第53-55页 |
| 4.3.2 真空吸管的设计 | 第55-56页 |
| 4.4 驱动控制单元设计与制备 | 第56-60页 |
| 4.4.1 压电控制单元的设计 | 第57-58页 |
| 4.4.2 真空吸附控制单元的设计 | 第58-59页 |
| 4.4.3 驱动控制单元电路板的制备 | 第59-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 复合式微夹钳实验研究 | 第61-76页 |
| 5.1 实验平台的搭建 | 第61-65页 |
| 5.1.1 三轴高精度定位平台 | 第63页 |
| 5.1.2 三自由度末端姿态调整机构 | 第63页 |
| 5.1.3 立体显微视觉系统 | 第63-64页 |
| 5.1.4 上位机操作系统软件 | 第64-65页 |
| 5.2 复合式微夹钳实验研究 | 第65-74页 |
| 5.2.1 复合式微夹钳两手指末端位移量的测试 | 第66-69页 |
| 5.2.2 吸附拾取实验 | 第69-71页 |
| 5.2.3 旋转搓动实验 | 第71-73页 |
| 5.2.4 释放实验 | 第73-74页 |
| 5.2.5 实验结果分析 | 第74页 |
| 5.3 本章小结 | 第74-76页 |
| 第6章 总结与展望 | 第76-78页 |
| 6.1 全文总结 | 第76-77页 |
| 6.2 展望 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 附录A 攻读硕士学位期间发表的论文及研究成果 | 第82-83页 |
| 附录B 作者研究生期间参与的科研项目 | 第83页 |