| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-13页 |
| 1.2 退除氮化物硬质膜技术概述 | 第13页 |
| 1.3 退除氮化物硬质膜的研究进展 | 第13-18页 |
| 1.3.1 单一的金属氮化物硬质膜的退除 | 第14-16页 |
| 1.3.2 (Ti,Al)N硬质膜的退除 | 第16-18页 |
| 1.4 研究目标和内容概述 | 第18-19页 |
| 1.5 本课题的执行技术路线 | 第19-22页 |
| 2 试验材料、条件与试验方法 | 第22-32页 |
| 2.1 镀膜实验基材的选取及预处理 | 第22-23页 |
| 2.2 靶材选择及镀膜设备简介 | 第23-24页 |
| 2.3 退膜实验设备简介 | 第24页 |
| 2.4 退膜实验试剂的选择 | 第24-26页 |
| 2.4.1 螯合剂的选择 | 第24-25页 |
| 2.4.2 氧化剂的选择 | 第25页 |
| 2.4.3 缓蚀剂的选择 | 第25-26页 |
| 2.5 试验参数的选择 | 第26-29页 |
| 2.5.1 组成退除液组元的确定 | 第26页 |
| 2.5.2 退除液浓度的选择 | 第26-28页 |
| 2.5.3 退膜温度的选择 | 第28页 |
| 2.5.4 PH值的选择 | 第28-29页 |
| 2.5.5 反应时间的确定 | 第29页 |
| 2.6 表征方法 | 第29-32页 |
| 3 退除(Ti,Al)N膜的研究 | 第32-50页 |
| 3.1 (Ti,Al)N膜的制备 | 第32页 |
| 3.2 (Ti,Al)N膜的退除 | 第32-39页 |
| 3.2.1 温度恒定时,组元、PH值对退除(Ti,Al)N膜的影响 | 第33-35页 |
| 3.2.2 组元固定时,温度、PH值和浓度对退除(Ti,Al)N膜的影响 | 第35-36页 |
| 3.2.3 组元和PH值固定时,温度和浓度对退除(Ti,Al)N膜的影响 | 第36-39页 |
| 3.3 (Ti,Al)N膜退除前后的形貌观测对比 | 第39-46页 |
| 3.3.1 实物数码照片对比 | 第39页 |
| 3.3.2 表面粗糙度对比 | 第39-40页 |
| 3.3.3 表面形貌对比 | 第40-46页 |
| 3.4 (Ti,Al)N膜退除前后的成分对比分析 | 第46-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-50页 |
| 4 退除(Ti,Zr)N膜研究 | 第50-68页 |
| 4.1 (Ti,Zr)N膜的制备 | 第50页 |
| 4.2 (Ti,Zr)N膜的退除 | 第50-57页 |
| 4.2.1 温度恒定时,组元、PH值对退除(Ti,Zr)N膜的影响 | 第51-53页 |
| 4.2.2 组元和PH值固定时,温度和浓度对退除(Ti,Zr)N膜的影响 | 第53-54页 |
| 4.2.3 组元和温度固定时,浓度和PH值对退除(Ti,Zr)N膜的影响 | 第54-57页 |
| 4.3 (Ti,Zr)N膜退除前后的形貌观测对比 | 第57-64页 |
| 4.3.1 实物数码照片对比 | 第57-58页 |
| 4.3.2 表面粗糙度对比 | 第58-59页 |
| 4.3.3 表面形貌对比 | 第59-64页 |
| 4.4 (Ti,Zr)N膜退除前后的成分对比分析 | 第64-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-68页 |
| 5 退除(Ti,Al,Zr)N膜研究 | 第68-88页 |
| 5.1 (Ti,Al,Zr)N膜的制备 | 第68-69页 |
| 5.2 (Ti,Al,Zr)N膜的退除 | 第69-76页 |
| 5.2.1 不同组元不同组合退除液对退除(Ti,Al,Zr)N膜层的影响 | 第69-72页 |
| 5.2.2 退除(Ti,Al)N和(Ti,Zr)N膜的退除液对退除(Ti,Al,Zr)N膜的影响 | 第72-74页 |
| 5.2.3 退除(Ti,Al)N膜和(Ti,Zr)N膜的改良退除液对退除(Ti,Al,Zr)N膜的影响 | 第74-76页 |
| 5.3 (Ti,Al,Zr)N膜退除前后的形貌观测对比 | 第76-85页 |
| 5.3.1 表面粗糙度对比 | 第76-79页 |
| 5.3.2 表面形貌对比 | 第79-85页 |
| 5.4 (Ti,Al,Zr)N膜退除前后的成分对比分析 | 第85-86页 |
| 5.5 本章小结 | 第86-88页 |
| 6 结论 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-94页 |
| 在学期间研究成果 | 第94-96页 |
| 致谢 | 第96页 |
