基于AlN的MEMS变形镜研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5-6页
1 自适应光学概述	第10-16页
1.1 自适应光学及其应用	第10-13页
1.2 MEMS变形镜与自适应光学	第13-15页
1.3 本章小结	第15-16页
2 变形镜工作原理	第16-30页
2.1 变形镜的结构	第16页
2.2 变形镜的驱动方式	第16-23页
2.3 压电变形镜理论模型	第23-27页
2.4 本章小结	第27-28页
2.5 本文研究目的及意义	第28页
2.6 本文主要研究内容	第28-30页
3 基于AlN的连续面型MEMS变形镜设计与仿真	第30-49页
3.1 有限元分析法和COMSOL软件	第30-31页
3.2 硅基氮化铝MEMS变形镜结构设计	第31-32页
3.3 仿真优化AlN/Si厚度比	第32-36页
3.4 理论优化AlN/Si厚度比	第36-38页
3.5 驱动性能仿真	第38-40页
3.6 变形镜像差矫正性能研究	第40-45页
3.7 变形镜制备工艺	第45-47页
3.8 本章小结	第47-49页
4 基于AlN的分立式MEMS微镜	第49-63页
4.1 微镜的应用	第49-50页
4.2 基于AlN的分立式MEMS微镜结构设计	第50-54页
4.3 AlN MEMS微镜性能仿真	第54-56页
4.4 AlN MEMS微镜的制备	第56-58页
4.5 微镜性能表征	第58-61页
4.6 本章小结	第61-63页
5 总结	第63-66页
5.1 本文主要工作	第63-64页
5.2 本文主要创新点	第64-65页
5.3 展望	第65-66页
致谢	第66-69页
参考文献	第69-79页
附录 ：攻读硕士学位期间所取得的成果	第79页