多光子超衍射纳米加工机理与技术研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 目前主要的微纳加工技术 | 第11-16页 |
| 1.2.1 光学曝光技术 | 第11-13页 |
| 1.2.2 电子束曝光技术 | 第13-14页 |
| 1.2.3 离子束加工技术 | 第14-15页 |
| 1.2.4 纳米压印技术 | 第15-16页 |
| 1.3 飞秒激光多光子微纳加工技术 | 第16-22页 |
| 1.3.1 飞秒激光多光子微纳加工原理 | 第16-18页 |
| 1.3.2 飞秒激光多光子微纳加工系统 | 第18-19页 |
| 1.3.3 飞秒激光多光子微纳加工的分辨率 | 第19-20页 |
| 1.3.4 飞秒激光多光子微纳加工制备微结构 | 第20-22页 |
| 1.4 本论文的研究目的、意义和主要内容 | 第22-23页 |
| 第2章 多光子吸收效应机理 | 第23-49页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 多光子吸收原理 | 第23-26页 |
| 2.2.1 经典理论 | 第23-24页 |
| 2.2.2 量子理论 | 第24-25页 |
| 2.2.3 影响多光子吸收的因素 | 第25-26页 |
| 2.3 多光子吸收测试 | 第26-48页 |
| 2.3.1 理论模型 | 第27-28页 |
| 2.3.2 泵浦探测测试系统 | 第28-30页 |
| 2.3.3 ZnS多晶多光子吸收特性测试 | 第30-43页 |
| 2.3.4 单边和双边咔唑盐的吸收测试 | 第43-48页 |
| 2.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第3章 多光子微纳加工原理的研究 | 第49-59页 |
| 3.1 引言 | 第49页 |
| 3.2 变波长简并双光子微纳加工 | 第49-53页 |
| 3.2.1 简并双光子聚合理论 | 第49-50页 |
| 3.2.2 实验系统 | 第50页 |
| 3.2.3 SCR500光刻胶材料测试 | 第50-51页 |
| 3.2.4 波长对加工阈值的影响 | 第51-53页 |
| 3.3 变功率双光束多光子聚合微纳加工 | 第53-58页 |
| 3.3.1 双光束多光子聚合理论 | 第53-54页 |
| 3.3.2 实验系统 | 第54页 |
| 3.3.3 双光束多光子聚合微加工 | 第54-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 多光子微纳加工技术在制作微结构中的应用 | 第59-73页 |
| 4.1 引言 | 第59页 |
| 4.2 高反衬底上的多层纳米线的制备 | 第59-72页 |
| 4.2.1 三维多层微结构制备 | 第59-64页 |
| 4.2.2 三维多层亚微米结构成因的理论解释 | 第64-70页 |
| 4.2.3 结构光栅 | 第70-72页 |
| 4.3 本章小结 | 第72-73页 |
| 第5章 结论与展望 | 第73-75页 |
| 5.1 本论文的主要研究结果 | 第73-74页 |
| 5.2 存在的问题与展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第85页 |
