| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 课题来源 | 第11页 |
| 1.2 研究背景 | 第11-12页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第12-22页 |
| 1.4 论文的研究内容及结构 | 第22-25页 |
| 2 基于梯度压缩与Hilbert变换的零级条纹定位算法 | 第25-38页 |
| 2.1 引言 | 第25-26页 |
| 2.2 基于梯度压缩算法的去畸变处理 | 第26-32页 |
| 2.3 基于Hilbert变换的零级干涉条纹定位 | 第32-35页 |
| 2.4 实验测试 | 第35-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 3 基于探针悬臂弯曲模型的可溯源标定方法 | 第38-51页 |
| 3.1 引言 | 第38页 |
| 3.2 可溯源标定方法 | 第38-42页 |
| 3.3 探针悬臂弯曲与干涉条纹位置关系模型 | 第42-46页 |
| 3.4 高分辨位移计量系统建立 | 第46-48页 |
| 3.5 标定实验测试 | 第48-50页 |
| 3.6 本章小结 | 第50-51页 |
| 4 基于Bouc-Wen模型磁滞补偿算法的压电陶瓷快速扫描方法 | 第51-65页 |
| 4.1 引言 | 第51-52页 |
| 4.2 压电陶瓷磁滞补偿与建模方法 | 第52-57页 |
| 4.3 基于Bouc-Wen模型磁滞补偿的压电陶瓷快速扫描方法 | 第57-58页 |
| 4.4 Bouc-Wen逆磁滞补偿模型参数识别 | 第58-60页 |
| 4.5 实验测试 | 第60-64页 |
| 4.6 本章小结 | 第64-65页 |
| 5 探针动力学模型及扫描测量参数优化策略 | 第65-77页 |
| 5.1 引言 | 第65-66页 |
| 5.2 探针动力学建模与分析 | 第66-69页 |
| 5.3 仿真分析 | 第69-74页 |
| 5.4 实验测试 | 第74-76页 |
| 5.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 6 系统建立及测试实验 | 第77-101页 |
| 6.1 引言 | 第77页 |
| 6.2 仪器系统建立 | 第77-83页 |
| 6.3 实验测试 | 第83-100页 |
| 6.4 本章小结 | 第100-101页 |
| 7 总结与展望 | 第101-104页 |
| 7.1 工作总结 | 第101-102页 |
| 7.2 论文创新点 | 第102-103页 |
| 7.3 研究展望 | 第103-104页 |
| 致谢 | 第104-105页 |
| 参考文献 | 第105-115页 |
| 附录1：攻读博士学位期间的主要成果 | 第115-116页 |
