二次静电放电特性仿真与实验研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 前言 | 第8-12页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 论文内容与编排 | 第11-12页 |
| 第二章 二次静电放电理论研究 | 第12-26页 |
| 2.1 引言 | 第12页 |
| 2.2 二次静电放电损伤效应 | 第12-13页 |
| 2.3 静电放电的分类与特点 | 第13-15页 |
| 2.3.1 接触放电 | 第13-14页 |
| 2.3.2 空气放电 | 第14-15页 |
| 2.3.3 静电放电的特点 | 第15页 |
| 2.4 基础放电理论 | 第15-20页 |
| 2.4.1 汤森放电理论 | 第15-17页 |
| 2.4.2 流注放电理论 | 第17-20页 |
| 2.5 棒板结构放电机理 | 第20-24页 |
| 2.5.1 正棒负板放电结构 | 第21页 |
| 2.5.2 负棒正板放电结构 | 第21-22页 |
| 2.5.3 放电起始判定 | 第22-23页 |
| 2.5.4 流注发展描述 | 第23-24页 |
| 2.6 本章小结 | 第24-26页 |
| 第三章 二次静电放电电路仿真研究 | 第26-37页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 静电放电模拟电路仿真 | 第26-27页 |
| 3.3 二次放电模拟电路仿真 | 第27-35页 |
| 3.3.1 考虑空气间隙的ESD放电电路 | 第28-29页 |
| 3.3.2 对空气间隙施压的放电电路 | 第29-32页 |
| 3.3.3 二次放电电路 | 第32-35页 |
| 3.4 电路级二次放电特性分析 | 第35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第四章 二次静电放电实验研究 | 第37-52页 |
| 4.1 引言 | 第37页 |
| 4.2 实验方案 | 第37-39页 |
| 4.3 实验结果 | 第39-41页 |
| 4.3.1 二次静电放电波形 | 第39-40页 |
| 4.3.2 实验与仿真波形对比 | 第40-41页 |
| 4.4 二次放电特性分析 | 第41-51页 |
| 4.4.1 放电二次峰值特性 | 第41-44页 |
| 4.4.2 二次放电时延特性 | 第44-49页 |
| 4.4.3 二次放电的劳厄图特性 | 第49-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 二次静电放电微观特性研究 | 第52-64页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 等离子体粒子反应模型 | 第52-53页 |
| 5.3 仿真设计 | 第53-57页 |
| 5.3.1 棒板结构简化 | 第53-54页 |
| 5.3.2 粒子方程选取 | 第54-56页 |
| 5.3.3 碰撞反应速率 | 第56-57页 |
| 5.4 结果分析 | 第57-63页 |
| 5.4.1 电场特性分析 | 第57-59页 |
| 5.4.2 电子崩特性分析 | 第59-61页 |
| 5.4.3 流注特性分析 | 第61-63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 总结 | 第64页 |
| 6.2 展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第73页 |
