| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| 1.1 题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 MEMS压力传感器概述 | 第9-12页 |
| 1.3 基于压电纳米材料的MEMS压力传感器 | 第12-21页 |
| 1.3.1 压电材料概述 | 第12-13页 |
| 1.3.2 一维压电纳米材料研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3.3 基于一维压电纳米材料的MEMS压力传感器 | 第17-21页 |
| 1.4 本课题主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 压电纳米纤维柔性MEMS压力传感器结构设计 | 第22-27页 |
| 2.1 压电纳米纤维柔性MEMS压力传感器材料选择及工艺流程 | 第22-23页 |
| 2.2 PZT纳米纤维柔性MEMS压力传感器结构和工作原理 | 第23-24页 |
| 2.3 柔性MEMS压力传感器与硅基底MEMS压力传感器对比 | 第24-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 压电纳米纤维柔性MEMS压力传感器制作工艺研究 | 第27-42页 |
| 3.1 PZT纳米纤维的制备与表征 | 第27-37页 |
| 3.1.1 PZT纳米纤维的制备 | 第27-33页 |
| 3.1.2 PZT纳米纤维的表征 | 第33-37页 |
| 3.2 PZT纳米纤维柔性MEMS压力传感器的制作 | 第37-41页 |
| 3.2.1 柔性PET基底上ITO叉指电极的制作 | 第37-38页 |
| 3.2.2 PDMS柔性薄膜的制备 | 第38-39页 |
| 3.2.3 柔性压力传感器的制作 | 第39-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 压电纳米纤维柔性MEMS压力传感器测试与性能分析 | 第42-51页 |
| 4.1 压力传感测试系统和测试方案 | 第42-43页 |
| 4.2 测试性能结果分析 | 第43-49页 |
| 4.2.1 动态压强频率响应特性 | 第43-45页 |
| 4.2.2 动态压强大小响应特性 | 第45-46页 |
| 4.2.3 负载电阻下的功率输出特性 | 第46-48页 |
| 4.2.4 PZT纳米纤维柔性MEMS压力传感器抗疲劳可靠性测试 | 第48-49页 |
| 4.3 柔性MEMS压力传感器与硅基底MEMS压力传感器测试结果对比 | 第49-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 结论与展望 | 第51-53页 |
| 5.1 结论 | 第51-52页 |
| 5.2 展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 在学期间的研究成果 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
