嵌入薄膜微传感器测量切削力刀具的设计及试验研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 论文的选题背景及研究意义 | 第9-11页 |
| 1.2 切削力测量系统的研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 薄膜传感器的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 测力仪的发展现状 | 第13-15页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第15页 |
| 1.4 本文的研究路线 | 第15-17页 |
| 第二章 应变式薄膜传感器的原理分析及结构设计 | 第17-30页 |
| 2.1 薄膜传感器的工作原理分析 | 第17-21页 |
| 2.1.1 传感器的工作原理 | 第17-20页 |
| 2.1.2 惠斯通电桥 | 第20-21页 |
| 2.2 传感器单元设计 | 第21-29页 |
| 2.2.1 传感器的选材 | 第22-25页 |
| 2.2.2 电阻栅的设计方案 | 第25-27页 |
| 2.2.3 电阻栅的横向效应 | 第27-29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 刀具的结构设计及优化 | 第30-53页 |
| 3.1 结构优化理论分析 | 第30-32页 |
| 3.2 刀具结构设计 | 第32-46页 |
| 3.2.1 螺钉紧固刀具结构设计方案及分析 | 第32-42页 |
| 3.2.2 其它刀具结构设计及分析 | 第42-46页 |
| 3.3 刀具力学性能分析 | 第46-48页 |
| 3.4 有限元仿真分析 | 第48-51页 |
| 3.4.1 刀具结构的仿真分析及对比 | 第48-50页 |
| 3.4.2 薄片厚度的优化仿真分析 | 第50-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 薄膜传感器的制备、检测和工艺优化 | 第53-67页 |
| 4.1 薄膜传感器的制备 | 第53-57页 |
| 4.1.1 基底的处理 | 第53-54页 |
| 4.1.2 氮化硅绝缘膜的制备 | 第54-56页 |
| 4.1.3 电阻栅层的制备 | 第56-57页 |
| 4.2 薄膜的性能检测 | 第57-60页 |
| 4.3 薄膜制备工艺参数优化 | 第60-66页 |
| 4.3.1 参数优化方法及模型 | 第60-61页 |
| 4.3.2 试验过程 | 第61-63页 |
| 4.3.3 试验结果分析 | 第63页 |
| 4.3.4 响应曲面分析 | 第63-66页 |
| 4.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 全文工作总结 | 第67-68页 |
| 5.2 本论文的创新点 | 第68页 |
| 5.3 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
