四自由度压电微夹钳的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.3 论文的主要工作 | 第15-16页 |
| 2 微夹钳的结构设计及静态特性分析 | 第16-31页 |
| 2.1 微夹钳四自由度的实现原理 | 第16-17页 |
| 2.2 微夹钳的结构设计 | 第17-18页 |
| 2.3 微夹钳的位移特性分析 | 第18-25页 |
| 2.3.1 夹持方向位移同驱动电压的关系 | 第20-22页 |
| 2.3.2 垂直于夹持方向位移同驱动电压的关系 | 第22-25页 |
| 2.4 微夹钳的输出力特性分析 | 第25-29页 |
| 2.4.1 夹持方向输出力同驱动电压的关系 | 第25-27页 |
| 2.4.2 垂直于夹持方向输出力同驱动电压的关系 | 第27-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 3 微夹钳静动态特性的有限元分析 | 第31-45页 |
| 3.1 有限元分析模型 | 第31-32页 |
| 3.2 钳指尺寸优化 | 第32-39页 |
| 3.2.1 钳指长度优化 | 第32-34页 |
| 3.2.2 钳指宽度优化 | 第34-35页 |
| 3.2.3 钳指厚度优化 | 第35-37页 |
| 3.2.4 电极宽度优化 | 第37-39页 |
| 3.3 输出位移特性分析 | 第39页 |
| 3.4 微夹钳动态特性分析 | 第39-44页 |
| 3.4.1 模态分析 | 第39-42页 |
| 3.4.2 频率响应特性分析 | 第42-43页 |
| 3.4.3 阶跃响应特性分析 | 第43-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 微夹钳静动态特性的测试 | 第45-56页 |
| 4.1 实验系统构成 | 第45-47页 |
| 4.2 钳指位移特性测试 | 第47-53页 |
| 4.2.1 夹持方向位移特性测试 | 第47-48页 |
| 4.2.2 垂直于夹持方向位移特性测试 | 第48-51页 |
| 4.2.3 夹持方向干涉位移测试 | 第51-52页 |
| 4.2.4 垂直于夹持方向干涉位移测试 | 第52-53页 |
| 4.3 阶跃响应特性测试 | 第53-55页 |
| 4.3.1 夹持方向阶跃响应特性测试 | 第53-54页 |
| 4.3.3 垂直于夹持方向阶跃响应特性测试 | 第54-55页 |
| 4.4 测试系统噪声的确定 | 第55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 结论与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 结论 | 第56页 |
| 5.2 进一步工作展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 在校期间研究成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
