| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 IGBT的研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国外研究进展 | 第9-13页 |
| 1.3 国内研究进展 | 第13-15页 |
| 1.4 本文的主要工作 | 第15-16页 |
| 2 常规RC-IGBT的特性仿真与工作机理分析 | 第16-34页 |
| 2.1 常规RC-IGBT的元胞结构 | 第16-17页 |
| 2.2 RC-IGBT电压回跳的机理分析 | 第17-20页 |
| 2.3 仿真所使用的物理模型介绍 | 第20页 |
| 2.4 常规RC-IGBT的静态特性 | 第20-30页 |
| 2.4.1 常规RC-IGBT的导通特性 | 第20-29页 |
| 2.4.2 背面尺寸对RC-IGBT的导通特性的影响 | 第29-30页 |
| 2.5 常规RC-IGBT的动态特性 | 第30-32页 |
| 2.5.1 常规RC-IGBT的关断特性 | 第30-31页 |
| 2.5.2 常规RC-IGBT的反向恢复特性 | 第31-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-34页 |
| 3 SF RC-IGBT的结构设计与优化 | 第34-42页 |
| 3.1 SF RC-IGBT的元胞结构 | 第34-35页 |
| 3.2 SF RC-IGBT 的静态特性 | 第35-40页 |
| 3.2.1 SF RC-IGBT 的导通特性 | 第35-39页 |
| 3.2.2 SF RC-IGBT 的阻断特性 | 第39-40页 |
| 3.3 SF RC-IGBT 的动态特性 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 沟槽栅快恢复RC-IGBT的设计 | 第42-54页 |
| 4.1 沟槽栅快恢复RC-IGBT的元胞结构 | 第42-43页 |
| 4.2 沟槽栅快恢复RC-IGBT在IGBT工作模式下的特性 | 第43-48页 |
| 4.2.1 沟槽栅快恢复RC-IGBT的正向导通特性 | 第43-46页 |
| 4.2.2 沟槽栅快恢复RC-IGBT的阻断特性 | 第46-47页 |
| 4.2.3 沟槽栅快恢复RC-IGBT的开关特性 | 第47-48页 |
| 4.3 沟槽栅快恢复RC-IGBT在FWD工作模式下的特性 | 第48-49页 |
| 4.4 沟槽栅快恢复RC-IGBT的工艺流程设计 | 第49-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 5 总结与展望 | 第54-56页 |
| 5.1 结论 | 第54页 |
| 5.2 后期工作展望 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 附录 | 第62页 |
