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GeSi量子点PL谱的研究

摘要第1-3页
Abstract第3-6页
第一章 绪论第6-15页
 §1.1 各种半导体材料的发展情况第6-8页
 §1.2 GeSi量子点的发光机理以其相关应用前景第8-9页
 §1.3 研究GeSi量子点的方法第9-13页
  §1.3.1 原子力显微镜(Atomic Force Microscopy)第9-10页
  §1.3.2 光致发光谱(Photolumicescence Spectroscopy)第10-11页
  §1.3.3 透射电子显微镜(Transmission Electron Microscopy TEM)第11-13页
 §1.4 本文主要研究内容第13-14页
 §1.5 参考文献第14-15页
第二章 GeSi量子点生长的现状研究第15-22页
 §2.1 自组织生长GeSi量子点的方法第15-17页
 §2.2 提高量子点有序性的方法第17-18页
 §2.3 图案衬底生长代表性工作第18-21页
 §2.4 参考文献第21-22页
第三章 样品的制备第22-30页
 §3.1 纳米球刻蚀技术简介第22页
 §3.2 纳米球刻蚀有序排列方法第22-26页
  §3.2.1 旋涂法排列聚苯乙烯纳米球单层薄膜第23页
  §3.2.2 垂直蒸发法排列聚苯乙烯纳米球单层薄膜第23-24页
  §3.2.3 Langmuir-Blodgett(LB)法排列聚苯乙烯纳米球单层薄膜第24-26页
 §3.3 硅衬底图案的制作第26-27页
 §3.4 图案衬底上量子点的生长第27-29页
 §3.5 参考文献第29-30页
第四章 图案衬底样品的光致发光实验第30-44页
 §4.1 样品的结构以及实验条件第30-31页
 §4.2 实验结果及讨论第31-40页
  §4.2.1 量子点形貌及高度统计第31-33页
  §4.2.2 相同激发功率相同温度下图案衬底和平衬底PL谱的比较第33-34页
  §4.2.3 相同温度不同激发功率下图案衬底和平衬底PL谱的比较第34-38页
  §4.2.4 不同温度相同激发功率下图案衬底PL谱的研究第38-40页
 §4.3 相关样品的重复性实验第40-43页
 §4.4 参考文献第43-44页
工作总结第44-45页
致谢第45-46页

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