摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
1 文献综述 | 第9-25页 |
1.1 引言 | 第9-10页 |
1.2 ITO研究进展 | 第10-15页 |
1.2.1 ITO靶材的结构与性能 | 第10-11页 |
1.2.2 ITO粉制备工艺的研究进展 | 第11-13页 |
1.2.3 ITO靶材制备工艺的研究进展 | 第13-15页 |
1.3 凝胶注模成型技术 | 第15-24页 |
1.3.1 概述 | 第15-16页 |
1.3.2 基本原理与工艺流程 | 第16-17页 |
1.3.3 理论基础 | 第17-21页 |
1.3.4 研究进展 | 第21-22页 |
1.3.5 凝胶体系 | 第22页 |
1.3.6 应用现状 | 第22-23页 |
1.3.7 存在的问题 | 第23-24页 |
1.4 本研究的目的和意义 | 第24-25页 |
2 实验原料、步骤和检测设备 | 第25-29页 |
2.1 实验用原料和设备 | 第25页 |
2.2 实验过程 | 第25-27页 |
2.2.1 制备In_2O_3/SnO_2复合粉 | 第25-26页 |
2.2.2 凝胶注模成型 | 第26-27页 |
2.2.3 烧结 | 第27页 |
2.3 检测方法 | 第27-29页 |
3 纳米ITO粉的凝胶注模成型 | 第29-39页 |
3.1 引言 | 第29页 |
3.2 ITO粉的性能 | 第29-30页 |
3.3 ITO粉的Zeta电位 | 第30-32页 |
3.4 NH4PAA添加量对黏度的影响 | 第32-33页 |
3.5 浆料固相含量对黏度的影响 | 第33-35页 |
3.6 AM对黏度的影响 | 第35-36页 |
3.7 生坯和烧结体的密度和显微形貌 | 第36-37页 |
3.8 本章小结 | 第37-39页 |
4 水热法制备In_2O_3粉 | 第39-50页 |
4.1 引言 | 第39页 |
4.2 pH值对In(OH)_3晶体形貌的影响 | 第39-41页 |
4.3 反应时间对In(OH)_3晶体形貌影响 | 第41-42页 |
4.4 表面活性剂对In(OH)_3晶体形貌的影响 | 第42-44页 |
4.5 In(OH)_3的煅烧 | 第44-48页 |
4.6 本章小结 | 第48-50页 |
5 In_2O_3/SnO_2复合粉的凝胶注模成型 | 第50-60页 |
5.1 引言 | 第50页 |
5.2 SnO_2粉的性能 | 第50-52页 |
5.3 In_2O_3粉和SnO_2粉的Zeta电位 | 第52-53页 |
5.4 NH4PAA的添加量对黏度的影响 | 第53页 |
5.5 固相含量对黏度的影响 | 第53-54页 |
5.6 生坯和烧结体的密度和显微形貌 | 第54-56页 |
5.7 ITO陶瓷的微观组织分析 | 第56-59页 |
5.8 本章小结 | 第59-60页 |
6 结论与展望 | 第60-62页 |
参考文献 | 第62-69页 |
攻读学位期间主要的研究成果目录 | 第69-70页 |
致谢 | 第70页 |