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氧化铟和铝掺杂氧化锌薄膜的电输运性质研究

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-8页
第一章 前言第12-30页
    1.1 介观物理第12页
    1.2 无序导体中的量子效应第12-21页
        1.2.1 弱局域化效应第12-16页
        1.2.2 退相干散射率第16-17页
        1.2.3 电子-电子相互作用第17-18页
        1.2.4 金属区颗粒系统内的电子-电子相互作用第18-21页
    1.3 局域态间的跳跃导电第21-22页
    1.4 热电势第22-24页
        1.4.1 理想金属中的扩散热电势第23页
        1.4.2 跳跃传导机制下的热电势第23-24页
        1.4.3 金属性颗粒系统中的热电势第24页
    1.5 透明导电氧化物薄膜第24-27页
        1.5.1 ZnO薄膜第25-26页
        1.5.2 In_2O_3薄膜第26-27页
    1.6 存在的问题及主要研究工作第27-30页
第二章 样品的制备和表征第30-40页
    2.1 样品制备第30-32页
        2.1.1 磁控溅射原理第30-31页
        2.1.2 Al掺杂ZnO和In_2O_3薄膜的制备条件第31-32页
    2.2 样品表征第32-40页
        2.2.1 样品结构表征第32-34页
        2.2.2 样品形貌表征第34-35页
        2.2.3 薄膜样品厚度测量第35-36页
        2.2.4 电输运性质和热输运性质测量第36-40页
第三章 超薄In_2O_3和Al掺杂ZnO薄膜中的电子-电子相互作用第40-64页
    3.1 超薄Al掺杂ZnO薄膜中的电子-电子相互作用第40-53页
        3.1.1 超薄Al掺杂ZnO薄膜的微观结构第40-41页
        3.1.2 超薄Al掺杂ZnO薄膜的表面形貌第41-43页
        3.1.3 超薄Al掺杂ZnO薄膜的导电性第43-44页
        3.1.4 电子-电子相互作用对薄膜霍尔系数和电导率的影响第44-49页
        3.1.5 超薄Al掺杂ZnO薄膜的退相干机制第49-53页
    3.2 超薄In_2O_3薄膜中的电子-电子相互作用第53-62页
        3.2.1 不同厚度超薄In_2O_3薄膜的厚度和微观结构第53-56页
        3.2.2 不同厚度超薄In_2O_3薄膜的表面形貌第56页
        3.2.3 不同厚度超薄In_2O_3薄膜的导电性第56-58页
        3.2.4 电子-电子相互作用对薄膜方块电阻和霍尔系数的影响第58-60页
        3.2.5 电子-电子相互作用对薄膜热电势的影响第60-62页
    3.3 本章小结第62-64页
第四章 三维In_2O_3薄膜中的电子-电子散射第64-82页
    4.1 三维In_2O_3薄膜的微观结构第64-68页
        4.1.1 三维In_2O_3薄膜的晶体结构第64-67页
        4.1.2 三维In_2O_3薄膜的表面形貌第67-68页
    4.2 三维In_2O_3薄膜的导电性第68-80页
        4.2.1 三维In_2O_3薄膜的高温导电性第68-71页
        4.2.2 三维In_2O_3薄膜的低温导电性第71-73页
        4.2.3 电子-电子散射对三维In_2O_3薄膜退相干机制的影响第73-80页
    4.3 本章小结第80-82页
第五章 In_2O_3薄膜中的变程跳跃传导第82-100页
    5.1 氧偏压对In_2O_3薄膜结构和导电性的影响第82-87页
        5.1.1 In_2O_3薄膜晶体结构第83-84页
        5.1.2 In_2O_3薄膜表面形貌第84-85页
        5.1.3 In_2O_3薄膜的金属-绝缘体转变第85-87页
    5.2 变程跳跃传导对In_2O_3薄膜电阻率和热电势的影响第87-98页
        5.2.1 变程跳跃传导对In_2O_3薄膜电阻率的影响第88-93页
        5.2.2 变程跳跃传导对In_2O_3薄膜热电势的影响第93-98页
    5.3 本章小结第98-100页
第六章 重掺杂Al掺ZnO薄膜中的金属-绝缘体转变和电子-电子散射第100-118页
    6.1 不同厚度重掺杂Al掺ZnO薄膜的金属-绝缘体转变第100-109页
        6.1.1 重掺杂Al掺ZnO薄膜的晶体结构和表面形貌第100-103页
        6.1.2 重掺杂Al掺ZnO薄膜的导电性第103-105页
        6.1.3 重掺杂Al掺ZnO薄膜的低温输运性质第105-109页
    6.2 三维重掺杂Al掺ZnO薄膜中的电子-电子散射第109-116页
        6.2.1 三维重掺杂Al掺ZnO薄膜的晶体结构和表面形貌第109-111页
        6.2.2 弱局域和电子-电子相互作用对薄膜输运性质的影响第111-114页
        6.2.3 电子-电子散射对薄膜退相干机制的影响第114-116页
    6.3 本章小结第116-118页
第七章 结论第118-120页
参考文献第120-132页
攻读博士期间发表的学术论文第132-134页
致谢第134-135页

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