摘要 | 第4-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第10-46页 |
1.1 表面图案化 | 第10-11页 |
1.2 表面起皱 | 第11-29页 |
1.2.1 概述 | 第11-12页 |
1.2.2 表面起皱的理论基础 | 第12-14页 |
1.2.3 表面起皱重要参量的实验表征方法 | 第14-15页 |
1.2.4 起皱表面的制备 | 第15-18页 |
1.2.5 表面皱纹形貌的调控 | 第18-25页 |
1.2.6 表面起皱的应用 | 第25-28页 |
1.2.7 表面防皱 | 第28-29页 |
1.3 曲面起皱 | 第29-44页 |
1.3.1 曲面起皱的理论研究 | 第29-35页 |
1.3.2 几种典型球面起皱的实验研究 | 第35-40页 |
1.3.3 几种典型球面起皱的应用研究 | 第40-44页 |
1.4 本课题的意义及主要研究内容 | 第44-46页 |
第2章 基于薄膜的尺寸效应控制和防止表面起皱 | 第46-68页 |
2.1 引言 | 第46-47页 |
2.2 实验部分 | 第47-49页 |
2.2.1 实验药品和仪器 | 第47-48页 |
2.2.2 实验方法 | 第48页 |
2.2.3 表征与测试 | 第48-49页 |
2.3 结果与讨论 | 第49-67页 |
2.3.1 选区曝光用的铜网掩膜 | 第49-50页 |
2.3.2 一维尺度下薄膜尺寸效应对临界起皱应变的影响 | 第50-61页 |
2.3.3 二维尺度下薄膜尺寸效应对临界起皱应变的影响 | 第61-65页 |
2.3.4 三维尺度下薄膜尺寸效应对临界起皱应变的影响 | 第65-67页 |
2.4 本章小结 | 第67-68页 |
第3章 PDMS微球表面皱纹化研究 | 第68-88页 |
3.1 引言 | 第68-69页 |
3.2 实验部分 | 第69-70页 |
3.2.1 实验药品和仪器 | 第69-70页 |
3.2.2 实验方法 | 第70页 |
3.2.3 表征与测试 | 第70页 |
3.3 结果与讨论 | 第70-86页 |
3.3.1 PDMS(n:1)微球的制备 | 第71-72页 |
3.3.2 表面皱纹化PDMS(30:1)微球的制备 | 第72-73页 |
3.3.3 PDMS(30:1)微球表面起皱的机理解释 | 第73-78页 |
3.3.4 OP曝光时间对球面起皱行为的影响 | 第78-80页 |
3.3.5 微球模量对球面起皱行为的影响 | 第80-82页 |
3.3.6 有机溶剂种类对球面起皱行为的影响 | 第82-83页 |
3.3.7 PDMS微球表面起皱形貌的相图 | 第83-85页 |
3.3.8 PDMS微球表面起皱形貌的独特性质 | 第85-86页 |
3.4 本章小结 | 第86-88页 |
第4章 高度有序的二维PEG微球及非典型球形曲面PEG微结构表面皱纹化阵列的制备 | 第88-110页 |
4.1 引言 | 第88-89页 |
4.2 实验部分 | 第89-92页 |
4.2.1 实验药品和仪器 | 第89-90页 |
4.2.2 实验方法 | 第90-91页 |
4.2.3 表征与测试 | 第91-92页 |
4.3 结果与讨论 | 第92-109页 |
4.3.1 PS/PDMS双层基底上有序二维PEG微球及条带阵列的表面起皱 | 第92-99页 |
4.3.2 玻璃基底上有序二维非球形曲面PEG微结构阵列的表面起皱 | 第99-107页 |
4.3.3 PDMS基底上有序二维非球形曲面PEG微结构阵列的表面起皱 | 第107-109页 |
4.4 本章小结 | 第109-110页 |
第5章 结论与展望 | 第110-112页 |
参考文献 | 第112-122页 |
发表论文及参加科研情况说明 | 第122-126页 |
致谢 | 第126-127页 |