折—衍二元镜片的SPDT制造及检测技术的研究
| 论文摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| §1.1 简介 | 第7页 |
| §1.2 国内外折-衍二元光学的发展 | 第7-8页 |
| §1.3 制作工艺概况 | 第8-9页 |
| §1.4 本论文的选题背景,研究意义与主要工作 | 第9-12页 |
| 1.4.1 选题背景 | 第9-10页 |
| 1.4.2 研究意义 | 第10-12页 |
| 第二章 衍射光波理论 | 第12-21页 |
| §2.1 标量衍射理论 | 第13-16页 |
| 2.1.1 惠更斯-菲涅耳原理 | 第13-14页 |
| 2.1.2 基尔霍夫衍射公式 | 第14-15页 |
| 2.1.3 菲涅耳衍射与夫琅和费衍射 | 第15-16页 |
| §2.2 矢量衍射理论 | 第16-21页 |
| 2.2.1 严格耦合波分析法 | 第16-21页 |
| 第三章 折-衍混合光学系统 | 第21-28页 |
| §3.1 折-衍混合二元镜片 | 第21-25页 |
| §3.2 折-衍混合系统的无热化设计 | 第25-28页 |
| 第四章 折-衍二元镜片的SPDT加工 | 第28-48页 |
| §4.1 折-衍二元镜片的制造技术 | 第28-34页 |
| 4.1.1 二元光学元件的集成电路制造技术 | 第28-29页 |
| 4.1.2 灰度掩模版法 | 第29-30页 |
| 4.1.3 连续浮雕衍射元件的加工技术 | 第30-34页 |
| 4.1.3.1 激光束直写 | 第30-32页 |
| 4.1.3.2 电子衷直写 | 第32-33页 |
| 4.1.3.3 单点金刚石直接车削 | 第33-34页 |
| §4.2 SPDT技术加工折-衍二元镜片 | 第34-48页 |
| 4.2.1 机床介绍 | 第34-36页 |
| 4.2.2 金刚石刀具 | 第36-37页 |
| 4.2.3 加工流程 | 第37-38页 |
| 4.2.4 数据分析和模拟仿真 | 第38页 |
| 4.2.5 夹具设计 | 第38-40页 |
| 4.2.6 采用圆刀和半圆刀加工 | 第40-43页 |
| 4.2.6.1 采用圆弧形刀具 | 第40-41页 |
| 4.2.6.2 采用半圆形刀具 | 第41-43页 |
| 4.2.7 上机加工的前期准备 | 第43-48页 |
| 4.2.7.1 数控(NC)程序的编写 | 第43-44页 |
| 4.2.7.2 加工制造模拟仿真 | 第44页 |
| 4.2.7.3 零件装夹精密定位 | 第44-45页 |
| 4.2.7.4 刀具的安装定位 | 第45-48页 |
| 第五章 折-衍二元镜片的检测 | 第48-61页 |
| §5.1 表面形貌检测 | 第48-50页 |
| 5.1.1 轮廓仪介绍 | 第48-49页 |
| 5.1.2 轮廓仪测量 | 第49-50页 |
| §5.2 衍射微结构测量 | 第50-54页 |
| 5.2.1 白光干涉介绍 | 第50-51页 |
| 5.2.2 白光干涉检测 | 第51-54页 |
| 5.2.2.1 台阶测量 | 第52-53页 |
| 5.2.2.2 表面粗糙度测量 | 第53-54页 |
| §5.3 衍射环带位置的高精度测量装置的开发 | 第54-61页 |
| 5.3.1 轮廓仪测量中遇到的问题 | 第54页 |
| 5.3.2 方法研究 | 第54-57页 |
| 5.3.3 理论验证 | 第57-58页 |
| 5.3.4 实验结果 | 第58-59页 |
| 5.3.5 结论 | 第59-61页 |
| 第六章 误差分析及其影响 | 第61-69页 |
| §6.1 遮挡效应 | 第61-63页 |
| 6.1.1 产生的影响 | 第62-63页 |
| §6.2 衍射结构的环带位置误差 | 第63-66页 |
| 6.2.1 产生的原因 | 第63-64页 |
| 6.2.2 产生的影响 | 第64-66页 |
| §6.3 衍射效率 | 第66页 |
| §6.4 表面散射 | 第66-69页 |
| 6.4.1 圆刀加工引起的散射量 | 第67-68页 |
| 6.4.2 半圆刀加工引起的散射量 | 第68-69页 |
| 第七章 总结与展望 | 第69-71页 |
| §7.1 工作总结 | 第69-70页 |
| §7.2 需要解决的问题 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 论文发表情况 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
