基于机器视觉的晶圆裸片计数
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第10-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 本文研究内容和章节安排 | 第15-17页 |
| 第二章 晶圆定位 | 第17-32页 |
| 2.1 引言 | 第17-18页 |
| 2.2 圆检测算法概述 | 第18-23页 |
| 2.2.1 Hough圆检测 | 第19-21页 |
| 2.2.2 最小二乘圆检测 | 第21-22页 |
| 2.2.3 RANSAC圆检测 | 第22-23页 |
| 2.3 基于RANSAC的晶圆定位 | 第23-32页 |
| 2.3.1 边缘检测 | 第25-27页 |
| 2.3.2 检测结果 | 第27-32页 |
| 第三章 晶圆内部直线查找 | 第32-38页 |
| 3.1 引言 | 第32-33页 |
| 3.2 直线查找常用方法 | 第33-35页 |
| 3.2.1 Hough直线检测 | 第33页 |
| 3.2.2 改进的hough的直线检测 | 第33-34页 |
| 3.2.3 RANSAC直线检测 | 第34-35页 |
| 3.3 基于RANSAC的晶圆内部直线检测 | 第35-38页 |
| 第四章 晶圆直线分类及特征提取 | 第38-42页 |
| 4.1 引言 | 第38-39页 |
| 4.2 基于K-means聚类的直线分类 | 第39-41页 |
| 4.2.1 K-means聚类 | 第39-40页 |
| 4.2.2 算法改进 | 第40-41页 |
| 4.3 分类直线的特征提取 | 第41-42页 |
| 第五章 圆内直线补全及计数 | 第42-47页 |
| 5.1 基于提取特征的晶内直线补全 | 第42页 |
| 5.2 基于形态学的圆内裸片计数 | 第42-47页 |
| 5.2.1 Bresenham算法 | 第43-45页 |
| 5.2.2 形态学处理 | 第45-47页 |
| 第六章 实验结果与分析 | 第47-50页 |
| 总结与展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
