压电半导体薄膜断裂性能研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 引言 | 第9-15页 |
| 1.1 选题意义 | 第9页 |
| 1.2 压电半导体断裂研究现状 | 第9-12页 |
| 1.3 压痕测试技术研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 论文主要工作 | 第14-15页 |
| 2 三维压电半导体介质断裂分析 | 第15-43页 |
| 2.1 基本方程 | 第15-17页 |
| 2.2 一般解 | 第17-19页 |
| 2.3 广义不连续位移基本解 | 第19-32页 |
| 2.3.1 作用垂直于裂纹平面不连续位移的基本解 | 第21-27页 |
| 2.3.2 作用平行于裂纹平面不连续位移的基本解 | 第27-32页 |
| 2.4 不连续位移边界元方法 | 第32-34页 |
| 2.5 数值算例 | 第34-42页 |
| 2.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 3 多层薄膜系统的有限元方法研究 | 第43-59页 |
| 3.1 压痕测试技术基本原理 | 第43-45页 |
| 3.2 单层薄膜-基体模型有限元分析 | 第45-51页 |
| 3.2.1 模型 | 第46-48页 |
| 3.2.2 半经验公式 | 第48-49页 |
| 3.2.3 半经验公式验证 | 第49-51页 |
| 3.3 双层薄膜-基体模型有限元分析 | 第51-55页 |
| 3.3.1 模型 | 第52页 |
| 3.3.2 半经验公式 | 第52-53页 |
| 3.3.3 半经验公式验证 | 第53-55页 |
| 3.4 多层薄膜-基体模型有限元分析 | 第55-58页 |
| 3.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 4 结束语 | 第59-61页 |
| 4.1 结论 | 第59页 |
| 4.2 创新点 | 第59-60页 |
| 4.3 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 附录 | 第66-68页 |
| 附录A：行列式L展开式中的系数 | 第66页 |
| 附录B: 矩阵L第三行元素余子式中的系数 | 第66-67页 |
| 附录C: 位移场和应力场相关系数 | 第67-68页 |
| 个人简历、在校期间发表的学术论文及研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
