基于视觉检测的原子力显微镜探针自动定位技术研究
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-14页 |
| 1.2 AFM简介 | 第14-20页 |
| 1.2.1 AFM成像原理 | 第14-16页 |
| 1.2.2 AFM系统构成 | 第16-18页 |
| 1.2.3 AFM扫描模式 | 第18-19页 |
| 1.2.4 AFM目前存在的主要问题 | 第19-20页 |
| 1.2.5 AFM应用 | 第20页 |
| 1.3 工业型AFM研究现状 | 第20-22页 |
| 1.4 显微视觉概述 | 第22-24页 |
| 1.5 本论文的主要研究内容 | 第24-26页 |
| 第2章 AFM探针自动逼近方法研究 | 第26-41页 |
| 2.1 引言 | 第26-27页 |
| 2.2 聚焦评价函数 | 第27-33页 |
| 2.2.1 图像清晰度评价函数 | 第27-31页 |
| 2.2.2 焦平面搜索算法 | 第31-33页 |
| 2.3 自动逼近系统平台搭建 | 第33-35页 |
| 2.3.1 系统硬件构成 | 第33-34页 |
| 2.3.2 系统软件构成 | 第34-35页 |
| 2.4 自动逼近流程设计 | 第35-38页 |
| 2.4.1 聚焦定位流程设计 | 第36-37页 |
| 2.4.2 精定位流程设计 | 第37-38页 |
| 2.5 实验验证 | 第38-39页 |
| 2.6 本章小结 | 第39-41页 |
| 第3章 目标位置自动逼近方法研究 | 第41-52页 |
| 3.1 引言 | 第41-43页 |
| 3.2 AFM探针针尖视觉定位技术 | 第43-49页 |
| 3.2.1 Hough直线变换基本原理 | 第43-44页 |
| 3.2.2 扫描探针针尖盲定位方法 | 第44-49页 |
| 3.3 目标逼近技术研究 | 第49-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 AFM探针自动更换方法研究 | 第52-63页 |
| 4.1 引言 | 第52-53页 |
| 4.2 探针自动更换机构 | 第53-56页 |
| 4.3 探针自动更换流程设计 | 第56-58页 |
| 4.4 AFM光电反馈自动校准 | 第58-62页 |
| 4.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 AFM扫描控制系统搭建与实现 | 第63-71页 |
| 5.1 引言 | 第63-64页 |
| 5.2 AFM控制系统工作原理 | 第64-66页 |
| 5.3 AFM控制系统软硬件平台实现 | 第66-71页 |
| 5.3.1 硬件平台的搭建 | 第66-67页 |
| 5.3.2 软件平台的搭建 | 第67-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
