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化学气相沉积法制备大面积、高结晶质量二硫化钨的研究

致谢第5-6页
摘要第6-7页
ABSTRACT第7-8页
1 引言第10-25页
    1.1 石墨烯简介第10-17页
        1.1.1 石墨烯的结构及性质第10-12页
        1.1.2 石墨烯的应用第12-14页
        1.1.3 石墨烯的制备第14-17页
    1.2 过渡金属硫化物简介第17-25页
        1.2.1 过渡金属硫化物的结构及性质第17-19页
        1.2.2 二硫化钨第19-20页
        1.2.3 过渡金属硫化物的应用第20-21页
        1.2.4 过渡金属硫化物的制备第21-25页
2 课题的提出和研究内容第25-26页
    2.1 课题的提出第25页
    2.2 研究内容第25-26页
3 化学气相沉积法制备二硫化钨第26-36页
    3.1 实验设备与实验材料第26-28页
        3.1.1 实验设备第26-27页
        3.1.2 实验材料第27-28页
    3.2 WS2的表征手段第28页
    3.3 实验工作第28-29页
        3.3.1 清洗衬底第28-29页
        3.3.2 WS_2生长过程第29页
    3.4 结果与讨论第29-36页
4 结论第36-37页
参考文献第37-41页
作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果第41-43页
学位论文数据集第43页

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