化学气相沉积法制备大面积、高结晶质量二硫化钨的研究
致谢 | 第5-6页 |
摘要 | 第6-7页 |
ABSTRACT | 第7-8页 |
1 引言 | 第10-25页 |
1.1 石墨烯简介 | 第10-17页 |
1.1.1 石墨烯的结构及性质 | 第10-12页 |
1.1.2 石墨烯的应用 | 第12-14页 |
1.1.3 石墨烯的制备 | 第14-17页 |
1.2 过渡金属硫化物简介 | 第17-25页 |
1.2.1 过渡金属硫化物的结构及性质 | 第17-19页 |
1.2.2 二硫化钨 | 第19-20页 |
1.2.3 过渡金属硫化物的应用 | 第20-21页 |
1.2.4 过渡金属硫化物的制备 | 第21-25页 |
2 课题的提出和研究内容 | 第25-26页 |
2.1 课题的提出 | 第25页 |
2.2 研究内容 | 第25-26页 |
3 化学气相沉积法制备二硫化钨 | 第26-36页 |
3.1 实验设备与实验材料 | 第26-28页 |
3.1.1 实验设备 | 第26-27页 |
3.1.2 实验材料 | 第27-28页 |
3.2 WS2的表征手段 | 第28页 |
3.3 实验工作 | 第28-29页 |
3.3.1 清洗衬底 | 第28-29页 |
3.3.2 WS_2生长过程 | 第29页 |
3.4 结果与讨论 | 第29-36页 |
4 结论 | 第36-37页 |
参考文献 | 第37-41页 |
作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第41-43页 |
学位论文数据集 | 第43页 |