| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-36页 |
| 1.1 微流控芯片及其加工方法 | 第13-25页 |
| 1.1.1 微流控芯片介绍与发展历史 | 第13-15页 |
| 1.1.2 微流控芯片的应用与功能 | 第15-20页 |
| 1.1.2.1 细胞分析 | 第15-18页 |
| 1.1.2.2 临床检测 | 第18页 |
| 1.1.2.3 化学合成与分析 | 第18-19页 |
| 1.1.2.4 光流体 | 第19-20页 |
| 1.1.3 微流控芯片的加工技术 | 第20-25页 |
| 1.1.3.1 微流控芯片的加工材料 | 第20-22页 |
| 1.1.3.2 微流控芯片加工方法 | 第22-25页 |
| 1.2 飞秒激光双光子集成微流控芯片 | 第25-31页 |
| 1.2.1 飞秒激光双光子加工介绍 | 第25-31页 |
| 1.2.1.1 飞秒激光维纳加工技术 | 第25-26页 |
| 1.2.1.2 飞秒激光双光子聚合原理 | 第26-27页 |
| 1.2.1.3 飞秒激光双光子聚合的优点 | 第27-28页 |
| 1.2.1.4 双光子聚合在微流控芯片方面的应用 | 第28-31页 |
| 1.3 双光子集成微流控器件的限制因素 | 第31-34页 |
| 1.3.1 飞秒激光双光子的加工效率 | 第31-33页 |
| 1.3.2 高性能器件急切需求 | 第33页 |
| 1.3.3 玻璃芯片载体的限制 | 第33-34页 |
| 1.4 本课题的研究内容与目标 | 第34-36页 |
| 第二章 空调光调制器的多光束整形技术 | 第36-51页 |
| 2.1 空间光调制器 | 第36-43页 |
| 2.1.1 振幅型空间光调制器 | 第36-37页 |
| 2.1.2 相位型空间光调制器 | 第37-43页 |
| 2.1.2.1 衍射光学元件DOE | 第37-38页 |
| 2.1.2.2 硅基液晶空间光调制器LCoS SLM | 第38-43页 |
| 2.2 计算全息图算法与产生 | 第43-49页 |
| 2.2.1 GS算法 | 第44-46页 |
| 2.2.2 GSW算法 | 第46-49页 |
| 2.3 本章小结 | 第49-51页 |
| 第三章 空间光调制器的多焦点并行集成3D微流控芯片 | 第51-70页 |
| 3.1 多焦点设计与产生 | 第51-53页 |
| 3.2 集成器件工艺研究 | 第53-60页 |
| 3.3 2D和3D结构设计与高效率加工 | 第60-62页 |
| 3.4 功能化的过滤器设计制造 | 第62-66页 |
| 3.4.1 过滤器设计 | 第62-63页 |
| 3.4.2 过滤器高效率加工 | 第63-66页 |
| 3.4.3 不同能量对应的过滤孔尺寸表征 | 第66页 |
| 3.5 过滤器过滤微颗粒功能表征 | 第66-67页 |
| 3.6 过滤细胞 | 第67-69页 |
| 3.6.1 癌细胞培养 | 第67-68页 |
| 3.6.2 癌细胞过滤结果 | 第68-69页 |
| 3.7 本章小结 | 第69-70页 |
| 第四章 飞秒激光多焦点并行加工拱形高性能分选器 | 第70-89页 |
| 4.1 多模态分选与防堵塞过滤器的研究背景 | 第70-72页 |
| 4.2 流体仿真辅助新型3D高性能分选器设计 | 第72-79页 |
| 4.3 芯片中多焦点并行集成分选器 | 第79-81页 |
| 4.4 多模态分选颗粒表征与颗粒提取 | 第81-84页 |
| 4.4.1 低捕获分选模式 | 第81页 |
| 4.4.2 带通捕获分选模式 | 第81-82页 |
| 4.4.3 高捕获分选模式 | 第82页 |
| 4.4.4 多种混合分选模式 | 第82-83页 |
| 4.4.5 颗粒收集 | 第83-84页 |
| 4.5 防堵塞性能表征 | 第84-86页 |
| 4.6 芯片清洁和重复应用 | 第86页 |
| 4.7 血液中分选癌细胞 | 第86-88页 |
| 4.8 本章小结 | 第88-89页 |
| 第五章 实时流体控制的双光子加工微捕获阵列 | 第89-106页 |
| 5.1 颗粒或细胞单捕获的研究背景 | 第89-90页 |
| 5.2 双光子光刻结合流体控制技术加工系统 | 第90-92页 |
| 5.3 优化加工工艺 | 第92-98页 |
| 5.3.1 激光功率与曝光时间对颗粒捕获的影响 | 第94-96页 |
| 5.3.2 颗粒密度对捕获效率的影响 | 第96-97页 |
| 5.3.3 柱子间距的影响 | 第97页 |
| 5.3.4 液体粘度对捕获的影响 | 第97-98页 |
| 5.4 规则图案与不规则图案单捕获 | 第98-99页 |
| 5.5 多微球簇可控捕获与成像应用 | 第99-102页 |
| 5.5.1 多微球簇捕获加工流程 | 第99-100页 |
| 5.5.2 多微球捕获结果 | 第100-101页 |
| 5.5.3 多微球簇成像 | 第101-102页 |
| 5.6 酵母菌单捕获 | 第102-104页 |
| 5.7 本章小结 | 第104-106页 |
| 第六章 总结与展望 | 第106-110页 |
| 6.1 论文的主要研究成果 | 第106-107页 |
| 6.1.1 基于空间光调制器的并行多焦点高效加工3D微流控器件技术 | 第106页 |
| 6.1.2 高性能的多模态和减堵塞的拱形分选器 | 第106页 |
| 6.1.3 提出实时流体控制的双光子加工技术 | 第106-107页 |
| 6.2 本论文的研究工作的创新之处 | 第107页 |
| 6.3 论文的工作展望 | 第107-110页 |
| 6.3.1 三维光场的实现与算法 | 第107-108页 |
| 6.3.2 拱形分选器的批量化 | 第108页 |
| 6.3.3 高性能的3D微结构设计 | 第108页 |
| 6.3.4 双光子光刻技术捕获生物样品 | 第108-110页 |
| 参考文献 | 第110-121页 |
| 致谢 | 第121-123页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第123-124页 |
