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锆钛酸钡钙薄膜的制备与压电性能研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-19页
    1.1 引言第10页
    1.2 课题研究的目的和意义第10-12页
    1.3 国内外研究现状第12-13页
    1.4 0.5BCT-BZT薄膜的性能第13-16页
        1.4.1 0.5BCT-BZT薄膜的压电性能第13-14页
        1.4.2 0.5BCT-BZT薄膜的铁电性能第14-15页
        1.4.3 0.5BCT-BZT薄膜的介电性能第15-16页
    1.5 压电薄膜材料的应用前景第16-17页
    1.6 课题来源与主要工作第17-19页
        1.6.1 课题来源第17页
        1.6.2 主要研究工作第17-19页
第2章 0.5BCT-BZT和LNO薄膜的制备第19-26页
    2.1 引言第19页
    2.2 0.5BCT-BZT薄膜的制备第19-23页
        2.2.1 0.5BCT-BZT薄膜制备的实验材料第20页
        2.2.2 0.5BCT-BZT薄膜制备的实验过程第20-23页
    2.3 LaNiO_3薄膜的制备第23页
    2.4 薄膜制备工艺参数第23-24页
    2.5 薄膜微结构和性能测试方法第24-25页
        2.5.1 X射线物相和反射率分析第24页
        2.5.2 扫描电子显微镜分析第24-25页
        2.5.3 电性能分析第25页
    2.6 本章小结第25-26页
第3章 0.5BCT-BZT薄膜结晶行为研究第26-36页
    3.1 引言第26页
    3.2 0.5BCT-BZT薄膜的晶化及性能分析第26-34页
        3.2.1 预烧温度对 0.5BCT-BZT薄膜晶化的影响第26-28页
        3.2.2 退火方式和晶化温度对 0.5BCT-BZT薄膜的影响第28-31页
        3.2.3 退火方式和保温时间对 0.5BCT-BZT薄膜的影响第31-34页
    3.3 本章小结第34-36页
第4章 0.5BCT-BZT薄膜界面优化及性能研究第36-42页
    4.1 引言第36页
    4.2 0.5BCT-BZT/LNO复合薄膜的晶化行为和电性能研究第36-41页
        4.2.1 0.5BCT-BZT/LNO复合薄膜的微结构分析第36-38页
        4.2.2 0.5BCT-BZT/LNO薄膜的电性能分析第38-41页
    4.3 本章小结第41-42页
结论第42-43页
参考文献第43-48页
攻读硕士学位期间所发表的学术论文第48-49页
致谢第49页

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