摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第10-19页 |
1.1 引言 | 第10页 |
1.2 课题研究的目的和意义 | 第10-12页 |
1.3 国内外研究现状 | 第12-13页 |
1.4 0.5BCT-BZT薄膜的性能 | 第13-16页 |
1.4.1 0.5BCT-BZT薄膜的压电性能 | 第13-14页 |
1.4.2 0.5BCT-BZT薄膜的铁电性能 | 第14-15页 |
1.4.3 0.5BCT-BZT薄膜的介电性能 | 第15-16页 |
1.5 压电薄膜材料的应用前景 | 第16-17页 |
1.6 课题来源与主要工作 | 第17-19页 |
1.6.1 课题来源 | 第17页 |
1.6.2 主要研究工作 | 第17-19页 |
第2章 0.5BCT-BZT和LNO薄膜的制备 | 第19-26页 |
2.1 引言 | 第19页 |
2.2 0.5BCT-BZT薄膜的制备 | 第19-23页 |
2.2.1 0.5BCT-BZT薄膜制备的实验材料 | 第20页 |
2.2.2 0.5BCT-BZT薄膜制备的实验过程 | 第20-23页 |
2.3 LaNiO_3薄膜的制备 | 第23页 |
2.4 薄膜制备工艺参数 | 第23-24页 |
2.5 薄膜微结构和性能测试方法 | 第24-25页 |
2.5.1 X射线物相和反射率分析 | 第24页 |
2.5.2 扫描电子显微镜分析 | 第24-25页 |
2.5.3 电性能分析 | 第25页 |
2.6 本章小结 | 第25-26页 |
第3章 0.5BCT-BZT薄膜结晶行为研究 | 第26-36页 |
3.1 引言 | 第26页 |
3.2 0.5BCT-BZT薄膜的晶化及性能分析 | 第26-34页 |
3.2.1 预烧温度对 0.5BCT-BZT薄膜晶化的影响 | 第26-28页 |
3.2.2 退火方式和晶化温度对 0.5BCT-BZT薄膜的影响 | 第28-31页 |
3.2.3 退火方式和保温时间对 0.5BCT-BZT薄膜的影响 | 第31-34页 |
3.3 本章小结 | 第34-36页 |
第4章 0.5BCT-BZT薄膜界面优化及性能研究 | 第36-42页 |
4.1 引言 | 第36页 |
4.2 0.5BCT-BZT/LNO复合薄膜的晶化行为和电性能研究 | 第36-41页 |
4.2.1 0.5BCT-BZT/LNO复合薄膜的微结构分析 | 第36-38页 |
4.2.2 0.5BCT-BZT/LNO薄膜的电性能分析 | 第38-41页 |
4.3 本章小结 | 第41-42页 |
结论 | 第42-43页 |
参考文献 | 第43-48页 |
攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第48-49页 |
致谢 | 第49页 |