| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 RF MEMS 开关概述 | 第11-20页 |
| 1.2.1 RF MEMS 开关分类 | 第11-12页 |
| 1.2.2 RF MEMS 开关工作原理 | 第12-16页 |
| 1.2.2.1 静电驱动 | 第13-14页 |
| 1.2.2.2 热驱动 | 第14页 |
| 1.2.2.3 磁驱动 | 第14-15页 |
| 1.2.2.4 压电驱动 | 第15-16页 |
| 1.2.3 静电式 RF MEMS 开关失效机理 | 第16-17页 |
| 1.2.4 常见消除失效的方法及其优缺点 | 第17-20页 |
| 1.2.4.1 改善介质层材料 | 第18页 |
| 1.2.4.2 优化驱动波形 | 第18-19页 |
| 1.2.4.3 降低驱动电压 | 第19页 |
| 1.2.4.4 改变驱动结构 | 第19-20页 |
| 1.3 RF MEMS 开关国内外研究现状 | 第20-21页 |
| 1.4 本课题研究意义 | 第21页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第21-25页 |
| 第二章 基于静电斥力原理的结构 | 第25-35页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 静电斥力概述 | 第25-28页 |
| 2.2.1 静电斥力结构 | 第25-26页 |
| 2.2.2 静电斥力工作原理 | 第26-27页 |
| 2.2.3 静电斥力的可靠性分析 | 第27-28页 |
| 2.3 静电斥力结构的应用 | 第28-30页 |
| 2.4 基本静电斥力结构建模与仿真 | 第30-33页 |
| 2.4.1 有限元分析软件 COMSOL Multiphysics 简介 | 第30-31页 |
| 2.4.2 静电斥力基本结构建模 | 第31-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 结构参数分析及优化仿真 | 第35-49页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 静电斥力驱动结构建模 | 第35-39页 |
| 3.2.1 几何模型构建 | 第36-37页 |
| 3.2.2 材料设置 | 第37页 |
| 3.2.3 边界条件设置 | 第37-38页 |
| 3.2.4 网格划分 | 第38-39页 |
| 3.3 静电斥力驱动结构参数仿真 | 第39-46页 |
| 3.3.1 可动极板参数 | 第40-43页 |
| 3.3.1.1 可动极板长度 | 第40-41页 |
| 3.3.1.2 可动极板宽度 | 第41-42页 |
| 3.3.1.3 可动极板厚度 | 第42-43页 |
| 3.3.2 固定极板参数 | 第43-44页 |
| 3.3.3 极板间距 | 第44-46页 |
| 3.3.3.1 垂直间距 | 第45页 |
| 3.3.3.2 水平间距 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-49页 |
| 第四章 结构优化及工艺流程设计 | 第49-59页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 静电斥力结构优化及仿真 | 第49-54页 |
| 4.2.1 改变可动极板的弹性系数 | 第49-53页 |
| 4.2.1.1 分叉式可动极板 | 第49-50页 |
| 4.2.1.2 开孔式可动极板 | 第50-51页 |
| 4.2.1.3 王字型可动极板 | 第51-52页 |
| 4.2.1.4 单端支撑型可动极板 | 第52-53页 |
| 4.2.2 改变静电斥力驱动单元数目 | 第53-54页 |
| 4.2.3 改变固定极板数目 | 第54页 |
| 4.3 静电斥力 RF MEMS 开关的工艺流程设计 | 第54-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-63页 |
| 5.1 总结 | 第59-60页 |
| 5.2 展望 | 第60-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及获得的成果 | 第71页 |