投影条纹形貌测量中的非线性相位误差补偿方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 研究背景 | 第9页 |
| 1.2 三维形貌光学测量方法 | 第9-12页 |
| 1.2.1 双目立体视觉法 | 第9页 |
| 1.2.2 三角法 | 第9-10页 |
| 1.2.3 相位测量法 | 第10-11页 |
| 1.2.4 自动聚焦法 | 第11页 |
| 1.2.5 共焦法 | 第11-12页 |
| 1.2.6 飞行时间法 | 第12页 |
| 1.3 非线性相位误差的消除方法 | 第12页 |
| 1.4 三维形貌光学测量技术发展趋势 | 第12-13页 |
| 1.5 本文的主要内容 | 第13-14页 |
| 2 投影条纹法及非线性相位误差的数学模型 | 第14-25页 |
| 2.1 投影条纹法 | 第14-16页 |
| 2.1.1 基本原理 | 第14-15页 |
| 2.1.2 相位高度转化 | 第15-16页 |
| 2.1.3 注意事项 | 第16页 |
| 2.2 四步相移法 | 第16-17页 |
| 2.3 多频条纹相位去包裹 | 第17-18页 |
| 2.4 非线性相位误差的数学模型 | 第18-24页 |
| 2.4.1 光强的幂指数模型 | 第18页 |
| 2.4.2 光强的多项式模型 | 第18-24页 |
| 2.5 小结 | 第24-25页 |
| 3 非线性相位误差的LUT补偿方法 | 第25-32页 |
| 3.1 LUT补偿方法 | 第25页 |
| 3.2 LUT查表法的建立过程 | 第25-28页 |
| 3.3 单频条纹的LUT补偿 | 第28-29页 |
| 3.3.1 补偿过程 | 第28页 |
| 3.3.2 实验验证 | 第28-29页 |
| 3.4 多频条纹的LUT补偿 | 第29-31页 |
| 3.4.1 补偿过程 | 第29-30页 |
| 3.4.2 实验验证 | 第30-31页 |
| 3.5 小结 | 第31-32页 |
| 4 非线性相位误差的反相补偿法 | 第32-58页 |
| 4.1 反相法原理 | 第32-34页 |
| 4.2 反相补偿法 | 第34-35页 |
| 4.3 仿真分析 | 第35-48页 |
| 4.3.1 平板仿真分析 | 第35-38页 |
| 4.3.2 台阶仿真分析 | 第38-40页 |
| 4.3.3 球冠仿真分析 | 第40-46页 |
| 4.3.4 讨论 | 第46-48页 |
| 4.4 单频条纹的反相补偿 | 第48-52页 |
| 4.4.1 补偿原理 | 第48-49页 |
| 4.4.2 实验验证 | 第49-52页 |
| 4.5 多频条纹的反相补偿 | 第52-57页 |
| 4.5.1 补偿原理 | 第52-53页 |
| 4.5.2 实验验证 | 第53-57页 |
| 4.6 小结 | 第57-58页 |
| 5 总结与展望 | 第58-59页 |
| 5.1 结论 | 第58页 |
| 5.2 展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
