| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第9-10页 |
| 1.1.2 本课题研究目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 BaTiO_3材料的电光特性及其波导研究概况 | 第11-16页 |
| 1.2.1 BaTiO_3材料的制备及电光特性 | 第11-14页 |
| 1.2.2 基于BaTiO_3材料的电光调制器研究进展 | 第14-16页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 BaTiO_3晶体薄膜的制备 | 第17-25页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 溶胶-凝胶法制备BaTiO_3胶体溶液 | 第17-21页 |
| 2.2.1 溶胶-凝胶法基本原理 | 第17-18页 |
| 2.2.2 主要实验设备及试剂 | 第18-19页 |
| 2.2.3 溶胶-凝胶法制备BaTiO_3胶体溶液 | 第19-21页 |
| 2.3 旋涂法制备BaTiO_3晶体薄膜 | 第21-24页 |
| 2.3.1 针对BaTiO_3薄膜厚度对相关参数的优化 | 第21-23页 |
| 2.3.2 针对BaTiO_3薄膜形貌对相关参数的优化 | 第23-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 BaTiO_3薄膜性能测试与加工工艺研究 | 第25-42页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 对BaTiO_3薄膜的X射线衍射分析 | 第25-27页 |
| 3.2.1 X射线衍射分析简述 | 第25页 |
| 3.2.2 X射线衍射分析结果 | 第25-27页 |
| 3.3 简单反射法测量BaTiO_3薄膜的电光系数 | 第27-32页 |
| 3.3.1 简单反射法测量电光系数的原理 | 第27-28页 |
| 3.3.2 简单反射法测量系统的搭建 | 第28-29页 |
| 3.3.3 电光系数的推导 | 第29-32页 |
| 3.4 对调制器结构光刻制作工艺的探究 | 第32-41页 |
| 3.4.1 主要实验设备及试剂 | 第32-33页 |
| 3.4.2 BaTiO_3 薄膜脊形波导结构及电极的设计 | 第33-36页 |
| 3.4.3 利用激光直写技术对BaTiO_3薄膜加工工艺探究 | 第36-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 基于BaTiO_3薄膜的波导理论仿真研究 | 第42-56页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 单模BaTiO_3薄膜脊形波导的设计 | 第42-47页 |
| 4.2.1 BaTiO_3薄膜脊形波导的单模条件 | 第42-45页 |
| 4.2.2 利用beamprop软件模拟单模传输 | 第45-47页 |
| 4.3 对于M-Z型电光调制器的结构参数设计 | 第47-54页 |
| 4.3.1 Y型分束器的结构设计 | 第47-51页 |
| 4.3.2 定向耦合器的结构设计 | 第51-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
