| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 高精度金刚石刀具制备与检测的发展现状 | 第9-12页 |
| 1.2.1 聚焦离子束加工金刚石刀具的研究和发展现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 刀具参数精度的研究和发展现状 | 第10-12页 |
| 1.3 切削力检测的研究和发展现状 | 第12页 |
| 1.4 选题背景及论文的主要研究工作 | 第12-15页 |
| 1.4.1 课题的来源 | 第12-13页 |
| 1.4.2 研究内容及相互之间关系 | 第13-15页 |
| 第二章 聚焦离子束加工的机理分析 | 第15-26页 |
| 2.1 FIB/SEM双束系统工作原理 | 第15-16页 |
| 2.2 离子与固体之间的相互作用 | 第16-25页 |
| 2.2.1 离子溅射 | 第17-19页 |
| 2.2.2 不同离子入射硅靶材料的仿真 | 第19-23页 |
| 2.2.3 离子入射不同靶材料的规律分析 | 第23-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 基于SEM图像处理的刀具测量软件系统设计与实现 | 第26-34页 |
| 3.1 系统功能需求分析 | 第26页 |
| 3.2 软件方案的设计与实现 | 第26-29页 |
| 3.2.1 软件总体方案与功能模块介绍 | 第27-28页 |
| 3.2.2 界面设计 | 第28-29页 |
| 3.3 软件开发平台搭建 | 第29-33页 |
| 3.3.1 Opencv概述与配置 | 第29-33页 |
| 3.3.2 Qt框架界面 | 第33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 扫描电镜图像的预处理算法研究 | 第34-46页 |
| 4.1 扫描电镜基本原理介绍 | 第34-36页 |
| 4.2 扫描电镜图像质量分析 | 第36-39页 |
| 4.2.1 扫描电镜图像质量评价参数 | 第36-37页 |
| 4.2.2 扫描电镜图像评价分析 | 第37-39页 |
| 4.3 图像增强处理 | 第39-43页 |
| 4.3.1 直方图均衡化 | 第39-42页 |
| 4.3.2 小波变换图像增强 | 第42-43页 |
| 4.4 二值化分割 | 第43-46页 |
| 第五章 刀具图像的边缘检测算法研究 | 第46-67页 |
| 5.1 常见边缘检测算法研究 | 第46-49页 |
| 5.2 亚像素定位的边缘检测算法 | 第49-57页 |
| 5.2.1 亚像素边缘检测的算法原理 | 第49-54页 |
| 5.2.2 理想图像的精度分析 | 第54-57页 |
| 5.3 分析结果与讨论 | 第57-67页 |
| 5.3.1 尺寸标定 | 第57页 |
| 5.3.2 刀尖圆弧轮廓参数的计算评价 | 第57-60页 |
| 5.3.3 参数计算 | 第60-67页 |
| 第六章 基于视频处理的挠度检测算法研究 | 第67-78页 |
| 6.1 切削过程刀具位置检测算法 | 第67-72页 |
| 6.1.1 帧间差分法 | 第67-68页 |
| 6.1.2 三帧差分法 | 第68-71页 |
| 6.1.3 背景差分法 | 第71-72页 |
| 6.2 基于MeanShift算法的刀具位置跟踪 | 第72-73页 |
| 6.2.1 原理分析 | 第72-73页 |
| 6.2.2 颜色空间模型 | 第73页 |
| 6.3 基于视频处理的挠度检测 | 第73-78页 |
| 第七章 总结与展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 发表论文和参加科研情况 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |