| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-35页 |
| 1.1 尖晶石锰氧化物简介 | 第12-15页 |
| 1.2 红外探测器 | 第15-20页 |
| 1.2.1 红外探测器的分类 | 第16-19页 |
| 1.2.2 红外探测器的发展历史 | 第19-20页 |
| 1.3 非制冷红外探测器 | 第20-23页 |
| 1.3.1 微测辐射热计 | 第21页 |
| 1.3.2 微测辐射热计国内外研究现状 | 第21-23页 |
| 1.4 Mn-Co-Ni-O薄膜材料制备 | 第23-25页 |
| 1.4.1 化学溶液法制备Mn-Co-Ni-O薄膜 | 第24-25页 |
| 1.4.2 磁控溅射制备Mn-Co-Ni-O薄膜 | 第25页 |
| 1.5 Mn-Co-Ni-O薄膜材料的研究方法 | 第25-30页 |
| 1.5.1 X射线衍射 | 第26页 |
| 1.5.2 扫描电子显微镜 | 第26-27页 |
| 1.5.3 透射电子显微镜 | 第27页 |
| 1.5.4 X射线光电子能谱 | 第27页 |
| 1.5.5 紫外光电子能谱 | 第27-28页 |
| 1.5.6 变温电学测试系统 | 第28-29页 |
| 1.5.7 透射谱测试 | 第29-30页 |
| 1.6 本论文研究内容 | 第30-31页 |
| 参考文献 | 第31-35页 |
| 第二章 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4薄膜变温透射谱研究 | 第35-48页 |
| 2.1 光学色散模型 | 第36-40页 |
| 2.2 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4薄膜表征和变温透射谱测试 | 第40-41页 |
| 2.3 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4变温透射谱的分析 | 第41-44页 |
| 2.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 第三章 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4薄膜红外探测器及热成像 | 第48-69页 |
| 3.1 热敏电阻型探测器噪声和光电特性分析 | 第49-53页 |
| 3.1.1 热敏器件噪声特性分析 | 第49-51页 |
| 3.1.2 热敏器件光电响应特性分析 | 第51-53页 |
| 3.2 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4薄膜器件制备及性能表征系统 | 第53-58页 |
| 3.2.1 薄膜制备和器件研制 | 第53-55页 |
| 3.2.2 薄膜器件电学性质分析 | 第55-57页 |
| 3.2.3 热敏红外探测器性能表征系统 | 第57-58页 |
| 3.3 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4薄膜器件噪声研究 | 第58-60页 |
| 3.4 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4薄膜器件性能表征 | 第60-65页 |
| 3.5 本章小结 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 第四章 浸没式Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4薄膜型探测器研制与性能研究 | 第69-84页 |
| 4.1 浸没透镜光路设计 | 第69-71页 |
| 4.2 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4浸没式器件制备及测试系统 | 第71-75页 |
| 4.2.1 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4薄膜浸没式器件制备 | 第71-75页 |
| 4.2.2 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4薄膜浸没式器件性能表征系统 | 第75页 |
| 4.3 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4浸没式器件性能表征 | 第75-80页 |
| 4.3.1 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4浸没式器件I?V特性分析 | 第75-77页 |
| 4.3.2 Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_4浸没式器件红外探测性能 | 第77-80页 |
| 4.4 本章小结 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
| 第五章 溅射制备高性能Mn-Co-Ni-O纳米薄膜材料研究 | 第84-99页 |
| 5.1 Mn-Co-Ni-O靶材制备 | 第84-87页 |
| 5.2 Mn-Co-Ni-O薄膜制备 | 第87-88页 |
| 5.3 Mn-Co-Ni-O薄膜性质分析与讨论 | 第88-96页 |
| 5.3.1 Mn-Co-Ni-O薄膜组分、结构和形貌分析 | 第88-89页 |
| 5.3.2 Mn-Co-Ni-O薄膜电学性质分析 | 第89-91页 |
| 5.3.3 Mn-Co-Ni-O薄膜能带结构 | 第91-92页 |
| 5.3.4 Mn-Co-Ni-O薄膜脉冲激光响应特性 | 第92-96页 |
| 5.4 本章小结 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-99页 |
| 第六章 溅射制备Mn-Co-Ni-O薄膜工艺研究 | 第99-113页 |
| 6.1 纯氩氛围下制备Mn-Co-Ni-O薄膜性质研究 | 第100-104页 |
| 6.2 通氧制备Mn-Co-Ni-O薄膜性质研究 | 第104-106页 |
| 6.3 变衬底温度制备Mn-Co-Ni-O薄膜性质研究 | 第106-109页 |
| 6.4 变溅射功率制备Mn-Co-Ni-O薄膜电学性质研究 | 第109-111页 |
| 6.5 本章小结 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-113页 |
| 第七章 总结与展望 | 第113-117页 |
| 7.1 总结 | 第113-115页 |
| 7.2 展望 | 第115-117页 |
| 作者简介及在学期间发表学术论文与研究成果 | 第117-120页 |
