| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 概述 | 第9-10页 |
| 1.2 微机械谐振器件中的气体阻尼与其研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 气体阻尼研究的目的与意义 | 第10页 |
| 1.2.2 气体阻尼的分类及其研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.3 论文研究意义 | 第12页 |
| 1.3 本文创新点和主要研究内容 | 第12-13页 |
| 1.3.1 本文创新点 | 第12页 |
| 1.3.2 本文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 1.4 本章小结 | 第13-14页 |
| 第二章 当前MEMS扭转谐振器件挤压膜阻尼的机理与模型 | 第14-27页 |
| 2.1 挤压膜阻尼产生的机理与主要研究方法 | 第14-15页 |
| 2.1.1 挤压膜阻尼产生的机理 | 第14-15页 |
| 2.1.2 挤压膜阻尼的主要研究方法 | 第15页 |
| 2.2 间隙中气体的控制方程-雷诺方程 | 第15-16页 |
| 2.2.1 可压缩气体的非线性雷诺方程 | 第15-16页 |
| 2.2.2 可压缩气体的线性雷诺方程 | 第16页 |
| 2.2.3 不可压缩气体的线性雷诺方程 | 第16页 |
| 2.3 当前MEMS扭转谐振器件的挤压膜阻尼模型 | 第16-26页 |
| 2.3.1 Pan等的扭转微镜挤压膜阻尼模型 | 第16-22页 |
| 2.3.2 Moeenfard等的扭转微镜挤压膜阻尼模型 | 第22-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 气体不可压缩情况下弯-扭耦合MEMS扭转谐振器件的挤压膜阻尼模型 | 第27-50页 |
| 3.1 气体不可压缩情况下弯扭耦合MEMS扭转谐振器件挤压膜阻尼的理论模型 | 第27-35页 |
| 3.1.1 弯扭耦合模型 | 第28-34页 |
| 3.1.2 纯扭转模型 | 第34-35页 |
| 3.2 纯扭转模型和弯扭耦合模型偏置位移的对比与分析 | 第35-38页 |
| 3.2.1 偏置电压对偏置位移的影响 | 第35-36页 |
| 3.2.2 支撑梁长度对偏置位移的影响 | 第36-38页 |
| 3.3 纯扭转模型和弯扭耦合模型扭转振动阻尼系数的对比与分析 | 第38-41页 |
| 3.3.1 振动频率对扭转振动阻尼系数的影响 | 第38页 |
| 3.3.2 气体间隙厚度对扭转振动阻尼系数的影响 | 第38-39页 |
| 3.3.3 偏置电压对扭转振动阻尼系数的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.4 支撑梁长度对扭转振动阻尼系数的影响 | 第40-41页 |
| 3.4 纯扭转模型和弯扭耦合模型品质因数的对比与分析 | 第41-46页 |
| 3.4.1 振动频率对品质因数的影响 | 第41-42页 |
| 3.4.2 气体间隙厚度对品质因数的影响 | 第42-44页 |
| 3.4.3 支撑梁长度对品质因数的影响 | 第44-46页 |
| 3.5 弯扭耦合模型挤压膜阻尼理论结果与有限元数值结果的对比与分析 | 第46-49页 |
| 3.5.1 弯扭耦合模型挤压膜阻尼的有限元数值模型 | 第46-47页 |
| 3.5.2 理论结果和有限元数值结果在不同振动频率下的对比 | 第47-48页 |
| 3.5.3 理论结果和有限元数值结果在不同气体间隙厚度下的对比 | 第48-49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 气体可压缩情况下弯-扭耦合MEMS扭转谐振器件的挤压膜阻尼模型 | 第50-75页 |
| 4.1 气体可压缩情况下弯扭耦合MEMS扭转谐振器件挤压膜阻尼理论模型 | 第50-54页 |
| 4.1.1 弯扭耦合模型 | 第50-54页 |
| 4.1.2 纯扭转模型 | 第54页 |
| 4.2 纯扭转模型和弯扭耦合模型阻尼系数和刚度系数的对比与分析 | 第54-60页 |
| 4.2.1 振动频率对阻尼系数和刚度系数的影响 | 第55-56页 |
| 4.2.2 气体间隙厚度对阻尼系数和刚度系数的影响 | 第56-58页 |
| 4.2.3 偏置电压对阻尼系数和刚度系数的影响 | 第58-59页 |
| 4.2.4 支撑梁长度对阻尼系数和刚度系数的影响 | 第59-60页 |
| 4.3 纯扭转模型和弯扭耦合模型品质因数的对比与分析 | 第60-68页 |
| 4.3.1 振动频率对品质因数的影响 | 第60-63页 |
| 4.3.2 气体间隙厚度对品质因数的影响 | 第63-65页 |
| 4.3.3 支撑梁长度对品质因数的影响 | 第65-68页 |
| 4.4 弯扭耦合模型挤压膜阻尼理论结果与有限元数值结果的对比与分析 | 第68-74页 |
| 4.4.1 理论结果和有限元数值结果在不同振动频率下的对比 | 第68-71页 |
| 4.4.2 理论结果和有限元数值结果在不同气体间隙厚度下的对比 | 第71-74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 第五章 总结与展望 | 第75-77页 |
| 5.1 论文总结 | 第75页 |
| 5.2 不足与展望 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 附录一 求解MEMS扭转谐振器件挤压膜阻尼的ANSYS程序 | 第81-85页 |
| 附录二 求解MEMS扭转谐振器件挤压膜阻尼的MATLAB程序 | 第85-89页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第89页 |
