基于溶胶凝胶法的PLZT光波导薄膜的制备研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-12页 |
| 1.1.1 集成光学概述 | 第10页 |
| 1.1.2 光波导概述 | 第10-11页 |
| 1.1.3 光波导材料的分类 | 第11-12页 |
| 1.2 PLZT材料概述 | 第12-17页 |
| 1.2.1 PLZT材料的晶体结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 PLZT薄膜的制备方法 | 第13-17页 |
| 1.3 PLZT薄膜的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3.1 研究进展 | 第17-18页 |
| 1.3.2 存在问题 | 第18页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 实验材料及研究方法 | 第19-26页 |
| 2.1 实验试剂和仪器 | 第19-20页 |
| 2.1.1 实验试剂 | 第19页 |
| 2.1.2 实验仪器 | 第19-20页 |
| 2.2 实验过程 | 第20-22页 |
| 2.2.1 溶胶的制备 | 第20-21页 |
| 2.2.2 薄膜的制备 | 第21-22页 |
| 2.3 材料性能测试 | 第22-26页 |
| 2.3.1 红外光谱分析(R) | 第22页 |
| 2.3.2 热重-差热分析(TG-DTA) | 第22-23页 |
| 2.3.3 X射线衍射分析(XRD) | 第23-24页 |
| 2.3.4 SEM分析 | 第24-26页 |
| 第三章 基于金属醇盐法的PLZT薄膜制备研究 | 第26-45页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 醇盐法溶胶的制备研究 | 第26-29页 |
| 3.2.1 溶胶体系的选择 | 第26-28页 |
| 3.2.2 醇盐法溶胶的制备流程 | 第28-29页 |
| 3.2.3 溶胶的表征 | 第29页 |
| 3.3 PLZT薄膜的制备研究 | 第29-40页 |
| 3.3.1 基底的选择和清洗 | 第30-31页 |
| 3.3.2 湿度的选择 | 第31-32页 |
| 3.3.3 热解条件的选择 | 第32-34页 |
| 3.3.4 退火条件的选择 | 第34-40页 |
| 3.4 PLZT光波导的制备与测试 | 第40-44页 |
| 3.4.1 PLZT厚膜的制备流程 | 第40页 |
| 3.4.2 PLZT光波导的制备过程 | 第40-43页 |
| 3.4.3 结果与讨论 | 第43-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 具有较低成本的PLZT薄膜制备研究 | 第45-53页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 无机盐法PLZT溶胶的制备研究 | 第45-47页 |
| 4.2.1 溶胶体系的选择 | 第45-46页 |
| 4.2.2 PLZT溶胶的制备流程 | 第46-47页 |
| 4.3 PLZT薄膜的制备研究 | 第47-52页 |
| 4.3.1 湿度的选择 | 第47-48页 |
| 4.3.2 热处理条件的选择 | 第48-51页 |
| 4.3.3 无机盐法PLZT厚膜的制备 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 总结与展望 | 第53-55页 |
| 5.1 总结 | 第53页 |
| 5.2 展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第62页 |
