| 摘要 | 第8-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 符号说明 | 第12-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-26页 |
| §1.1 概述 | 第14页 |
| §1.2 TiO_2薄膜的性质及其应用 | 第14-16页 |
| 1.2.1 结构性质 | 第14-15页 |
| 1.2.2 光电性质 | 第15-16页 |
| 1.2.3 TiO_2薄膜的应用 | 第16页 |
| §1.3 TiO_2薄膜的研究现状 | 第16-17页 |
| §1.4 研究课题的选取 | 第17-19页 |
| 本章参考文献 | 第19-26页 |
| 第二章 实验设备介绍及性质测试分析方法 | 第26-34页 |
| §2.1 金属有机化学气相沉积(MOCVD)介绍 | 第26-29页 |
| 2.1.1 MOCVD的原理和特点 | 第26页 |
| 2.1.2 本文中氧化钛材料生长所用的MOCVD系统和MO源 | 第26-29页 |
| §2.2 样品的准备 | 第29-31页 |
| 2.2.1 实验前的准备 | 第29-30页 |
| 2.2.2 薄膜生长的工艺流程 | 第30-31页 |
| §2.3 测试分析方法 | 第31-32页 |
| 2.3.1 结构和形貌分析方法 | 第31页 |
| 2.3.2 元素成分分析 | 第31-32页 |
| 2.3.3 光学性质分析 | 第32页 |
| 参考文献 | 第32-34页 |
| 第三章 铝酸镁(100)衬底上TiO_2薄膜的制备和性质研究 | 第34-44页 |
| §3.1 铝酸镁衬底的选取及TiO_2薄膜的制备 | 第34-35页 |
| §3.2 铝酸镁(100)衬底TiO_2薄膜的结构及表面形貌 | 第35-37页 |
| §3.3 铝酸镁(100)衬底TiO_2薄膜的元素组分分析 | 第37-38页 |
| §3.4 铝酸镁(100)衬底TiO_2薄膜的外延关系 | 第38-40页 |
| §3.5 铝酸镁(100)衬底TiO_2薄膜的光学性质 | 第40-41页 |
| 本章参考文献 | 第41-44页 |
| 第四章 铝酸镁(111)衬底上TiO_2薄膜的制备和性质研究 | 第44-52页 |
| §4.1 铝酸镁(111)衬底TiO_2薄膜的结构及表面形貌 | 第44-46页 |
| §4.2 铝酸镁(111)衬底TiO_2薄膜的元素组分分析 | 第46-48页 |
| §4.3 铝酸镁(111)衬底TiO_2薄膜的外延关系 | 第48-49页 |
| §4.4 铝酸镁(111)衬底TiO_2薄膜的光学性质 | 第49-50页 |
| 本章参考文献 | 第50-52页 |
| 第五章 铝酸镧(001)衬底上TiO_2薄膜的制备和性质研究 | 第52-62页 |
| §5.1 铝酸镧衬底的选取及TiO_2薄膜的制备 | 第52-53页 |
| §5.2 铝酸镧衬底TiO_2薄膜的结构及表面形貌 | 第53-56页 |
| §5.3 铝酸镧衬底TiO_2薄膜的元素组分分析 | 第56-57页 |
| §5.4 铝酸镧衬底TiO_2薄膜的外延关系 | 第57-60页 |
| §5.5 铝酸镧衬底TiO_2薄膜的光学性质 | 第60页 |
| 本章参考文献 | 第60-62页 |
| 第六章 结论 | 第62-64页 |
| 硕士期间发表论文目录 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| Paper | 第66-82页 |
| 附件 | 第82页 |
