| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-17页 |
| 1.1 课题来源及研究意义 | 第12-13页 |
| 1.2 微定位平台研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 驱动电源研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4 压电陶瓷的迟滞模型及控制方法 | 第15-16页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 压电陶瓷的基本特性 | 第17-22页 |
| 2.1 压电陶瓷概述 | 第17-18页 |
| 2.1.1 压电陶瓷的极化 | 第17页 |
| 2.1.2 压电效应与逆压电效应 | 第17-18页 |
| 2.2 压电陶瓷的固有特性 | 第18-20页 |
| 2.2.1 电容特性 | 第18-19页 |
| 2.2.2 迟滞特性 | 第19-20页 |
| 2.2.3 蠕变特性 | 第20页 |
| 2.3 压电陶瓷促动器选型 | 第20-21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 微定位系统总体方案 | 第22-29页 |
| 3.1 微定位系统的结构 | 第22页 |
| 3.2 微定位系统放大机构 | 第22-23页 |
| 3.3 压电陶瓷驱动电源 | 第23-26页 |
| 3.3.1 驱动电源的控制方法 | 第23-26页 |
| 3.3.2 驱动电源方案 | 第26页 |
| 3.4 微定位系统的控制算法 | 第26-28页 |
| 3.4.1 模糊控制基本原理 | 第26-27页 |
| 3.4.2 微定位系统控制方法 | 第27-28页 |
| 3.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第4章 微定位系统的放大机构 | 第29-39页 |
| 4.1 柔性铰链刚度分析 | 第29-31页 |
| 4.1.1 柔性铰链绕z轴的转动刚度 | 第29-31页 |
| 4.1.2 柔性铰链沿x轴的轴向刚度 | 第31页 |
| 4.2 柔性铰链放大机构 | 第31-36页 |
| 4.2.1 柔性放大机构放大率计算 | 第32-35页 |
| 4.2.2 柔性铰链放大机构固有频率 | 第35-36页 |
| 4.3 柔性铰链放大机构有限元分析 | 第36-38页 |
| 4.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第5章 压电陶瓷驱动电源 | 第39-55页 |
| 5.1 驱动电源设计要求 | 第39页 |
| 5.2 驱动电源的设计 | 第39-48页 |
| 5.2.1 运算放大器选型 | 第39-40页 |
| 5.2.2 驱动电源放大电路 | 第40-41页 |
| 5.2.3 驱动电源的输入失调电压补偿 | 第41-42页 |
| 5.2.4 运放PA92的相位补偿 | 第42-44页 |
| 5.2.5 驱动电源稳定性分析 | 第44-47页 |
| 5.2.6 驱动电源的限流措施 | 第47-48页 |
| 5.3 驱动电源的供电电路 | 第48-50页 |
| 5.3.1 低压直流电源设计 | 第48-49页 |
| 5.3.2 高压直流稳压电源设计 | 第49-50页 |
| 5.4 驱动电源仿真分析 | 第50-53页 |
| 5.4.1 正弦交流信号仿真分析 | 第50-52页 |
| 5.4.2 驱动电源线性度和误差分析 | 第52-53页 |
| 5.4.3 电源稳定性仿真分析 | 第53页 |
| 5.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第6章 微定位系统数学模型及仿真分析 | 第55-68页 |
| 6.1 压电陶瓷迟滞模型 | 第55-57页 |
| 6.2 微定位系统的数学模型 | 第57-60页 |
| 6.2.1 驱动电源的数学模型 | 第57页 |
| 6.2.2 压电陶瓷促动器的数学模型 | 第57-58页 |
| 6.2.3 放大机构的传递函数 | 第58页 |
| 6.2.4 微定位系统的传递函数 | 第58-60页 |
| 6.3 基于LabVIEW的微定位系统闭环仿真模型 | 第60-64页 |
| 6.3.1 模糊控制器 | 第60-61页 |
| 6.3.2 基于LabVIEW的模糊控制器设计 | 第61-63页 |
| 6.3.3 基于LabVIEW的微定位系统仿真程序 | 第63-64页 |
| 6.4 微定位系统的仿真分析 | 第64-67页 |
| 6.4.1 微定位系统的三角波响应 | 第64-65页 |
| 6.4.2 微定位系统的阶跃响应 | 第65-66页 |
| 6.4.3 微定位系统的正弦响应 | 第66-67页 |
| 6.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 总结与展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |