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硫酸溶液体系p型BixSb2-xTe3基薄膜热电材料的电沉积机理及制备工艺研究

摘要第4-5页
abstract第5-6页
第一章 绪论第11-26页
    1.1 前言第11页
    1.2 热电技术的基本理论第11-16页
        1.2.1 塞贝克、珀尔帖和汤姆逊效应第11-12页
        1.2.2 热电优值第12-13页
        1.2.3 塞贝克系数第13-14页
        1.2.4 电阻率第14-15页
        1.2.5 热导率第15-16页
    1.3 热电应用第16-18页
        1.3.1 热电制冷第16-17页
        1.3.2 温差发电第17-18页
    1.4 热电材料第18-22页
        1.4.1 块状热电材料第18-21页
            1.4.1.1 硅第18-19页
            1.4.1.2 铅硫类化合物第19页
            1.4.1.3 方钴矿类化合物第19页
            1.4.1.4 铋化锑合金第19页
            1.4.1.5 碲化铋合金第19-20页
            1.4.1.6 碲化锑合金第20页
            1.4.1.7 (Bi,Sb)Te基三元合金第20-21页
        1.4.2 薄膜热电材料第21页
        1.4.3 新型热电材料第21-22页
    1.5 热电薄膜热电材料沉积技术第22-25页
        1.5.1 喷溅涂覆法第22页
        1.5.2 分子束外延法第22-23页
        1.5.3 金属有机气相沉积法第23页
        1.5.4 电化学沉积法第23-24页
        1.5.5 电闪蒸第24页
        1.5.6 热蒸法第24-25页
    1.6 本课题研究内容及意义第25-26页
第二章 研究方法第26-33页
    2.1 实验试剂及仪器第26-27页
        2.1.1 实验试剂第26-27页
        2.1.2 实验仪器第27页
    2.2 电化学测试第27-30页
        2.2.1 基材前处理第27-28页
        2.2.2 测试装置第28-29页
        2.2.3 测试溶液第29页
        2.2.4 循环伏安曲线测试第29页
        2.2.5 交流阻抗谱测试第29-30页
    2.3 Bi-Te-Sb薄膜热电材料的制备第30-31页
        2.3.1 试样第30-31页
        2.3.2 电沉积装置及工艺第31页
        2.3.3 电沉积材料的后处理第31页
    2.4 电沉积材料组成、物相、形貌及厚度测试第31-32页
        2.4.1 能谱(EDS)分析第31页
        2.4.2 X射线衍射(XRD)分析第31页
        2.4.3 立体显微镜照片分析第31页
        2.4.4 薄膜厚度测量第31-32页
    2.5 性能测试第32-33页
        2.5.1 塞贝克系数测试第32页
        2.5.2 电阻率测试第32-33页
第三章 硫酸溶液体系p型Bi_xSb_(2-x)Te_3基薄膜热电材料电沉积机理研究第33-48页
    3.1 前言第33-34页
    3.2 研究方法第34页
        3.2.1 电化学测试第34页
        3.2.2 电化学测试溶液的组成第34页
    3.3 元素Bi的电沉积过程研究第34-38页
        3.3.1 循环伏安曲线分析第34-35页
        3.3.2 交流阻抗谱分析第35-38页
    3.4 元素Sb的电沉积过程研究第38-41页
        3.4.1 循环伏安曲线分析第38-39页
        3.4.2 交流阻抗谱分析第39-41页
    3.5 元素Te的电沉积过程研究第41-47页
        3.5.1 循环伏安曲线分析第41-42页
        3.5.2 交流阻抗谱分析第42-47页
    3.6 本章小结第47-48页
第四章 硫酸溶液体系p型Bi_xSb_(2-x)Te_3基薄膜热电材料电沉积工艺研究第48-77页
    4.1 前言第48页
    4.2 研究方法第48-51页
        4.2.1 电化学测试第48页
        4.2.2 电沉积溶液组成第48-51页
        4.2.3 电沉积工艺第51页
        4.2.4 电沉积材料结构及性能表征第51页
    4.3 溶液组份对元素Bi、Sb、Te电沉积过程的影响第51-62页
        4.3.1 配位剂Na2EDTA浓度的影响第51-54页
            4.3.1.1 对元素Bi电沉积过程的影响第51-53页
            4.3.1.2 对元素Sb沉积过程的影响第53页
            4.3.1.3 对元素Te沉积过程的影响第53-54页
        4.3.2 配位剂酒石酸浓度的影响第54-57页
            4.3.2.1 对元素Bi电沉积过程的影响第54-55页
            4.3.2.2 对元素Sb电沉积过程的影响第55-56页
            4.3.2.3 对元素Te电沉积过程的影响第56-57页
        4.3.3 硫酸浓度的影响第57-60页
            4.3.3.1 对元素Bi电沉积过程的影响第57-58页
            4.3.3.2 对元素Sb电沉积过程的影响第58-59页
            4.3.3.3 对元素Te电沉积过程的影响第59-60页
        4.3.4 硫酸溶液体系中配位剂及硫酸浓度的确定第60-61页
        4.3.5 硫酸溶液体系中硫酸钾浓度的确定第61-62页
    4.4 基材对p型Bi_xSb_(2-x)Te_3基三元薄膜热电材料电沉积过程的影响第62-64页
        4.4.1 基材对p型Bi_xSb_(2-x)Te_3薄膜热电材料形貌的影响第62-63页
        4.4.2 基材对p型Bi_xSb_(2-x)Te_3薄膜热电材料性能的影响第63-64页
    4.5 沉积电位对电沉积p型Bi_xSb_(2-x)Te_3薄膜热电材料的影响第64-66页
        4.5.1 沉积电位对形貌的影响第64-65页
        4.5.2 沉积电位对性能的影响第65-66页
    4.6 液流强度对电沉积p型Bi_xSb_(2-x)Te_3薄膜热电材料的影响第66-67页
        4.6.1 液流强度对形貌的影响第66页
        4.6.2 液流强度对性能的影响第66-67页
    4.7 温度对p型Bi_xSb_(2-x)Te_3薄膜热电材料的影响第67-68页
    4.8 电沉积p型Bi_xSb_(2-x)Te_3薄膜热电材料的XRD分析第68-69页
    4.9 沉积电量与厚度的关系第69-70页
    4.10 补加工艺对电沉积p型Bi_xSb_(2-x)Te_3薄膜热电材料的影响第70-75页
        4.10.1 补加溶液浓度的计算第70-71页
        4.10.2 补加工艺对电沉积p型Bi_xSb_(2-x)Te_3薄膜热电材料成分的影响第71-72页
        4.10.3 补加工艺对p型Bi_xSb_(2-x)Te_3薄膜热电材料性能的影响第72-75页
    4.11 本章小结第75-77页
第五章 结论第77-79页
参考文献第79-85页
发表论文和参加科研情况说明第85-86页
致谢第86-87页

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