梯度折射率高反膜的制备及其激光损伤特性研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·高功率激光薄膜的研究进展 | 第9-11页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 光学薄膜的激光损伤理论 | 第13-22页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·光学薄膜损伤的场效应 | 第13-16页 |
| ·雪崩电离模型 | 第13-14页 |
| ·多光子吸收模型 | 第14-15页 |
| ·雪崩电离和多光子吸收的组合模型 | 第15-16页 |
| ·光学薄膜损伤的热效应 | 第16-21页 |
| ·本征吸收 | 第16-17页 |
| ·多层膜温度场模型 | 第17-18页 |
| ·缺陷诱导模型 | 第18-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 梯度折射率高反膜的设计与制备 | 第22-36页 |
| ·引言 | 第22-23页 |
| ·RUGATE薄膜简介 | 第23页 |
| ·梯度折射率高反膜设计 | 第23-30页 |
| ·膜系设计 | 第23-24页 |
| ·任意折射率材料的获得 | 第24-26页 |
| ·双元拼接靶离子束溅射的校正曲线 | 第26-30页 |
| ·梯度折射率高反膜的制备 | 第30-35页 |
| ·基片的清洗工艺 | 第30-32页 |
| ·离子束溅射镀膜工艺 | 第32-33页 |
| ·宽带光谱监控 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 梯度折射率高反膜表征和抗激光损伤能力测试 | 第36-48页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·梯度折射率高反膜表征 | 第36-39页 |
| ·光学薄膜抗激光损伤能力测试 | 第39-46页 |
| ·损伤的定义 | 第39页 |
| ·损伤测试基本结构 | 第39-40页 |
| ·测试设备及装置要求 | 第40-42页 |
| ·1-on-1测试原理以及损伤阈值确定方法 | 第42-44页 |
| ·损伤评定方法对比 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第五章 梯度折射率高反膜的损伤特性研究 | 第48-56页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·损伤特性实验结果与分析 | 第48-55页 |
| ·Ta_2O_5/SiO_2及混合单层膜损伤特性 | 第48-50页 |
| ·梯度折射率高反膜和λ/4规整高反膜损伤特性对比 | 第50-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 全文总结 | 第56-58页 |
| ·本论文的工作总结 | 第56页 |
| ·后续工作的展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录 | 第63页 |
