| 致谢 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-14页 |
| 插图清单 | 第14-16页 |
| 表格清单 | 第16-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-34页 |
| ·前言 | 第17页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第17-20页 |
| ·真空蒸发镀膜 | 第18-19页 |
| ·化学气相沉积 (CVD) | 第19-20页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第20页 |
| ·溅射镀膜 | 第20页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第20-23页 |
| ·X 射线衍射分析仪 (XRD) | 第20-21页 |
| ·原子力显微镜 (AFM) | 第21-22页 |
| ·扫描电子显微镜 (SEM) | 第22页 |
| ·紫外-可见分光度计 | 第22-23页 |
| ·四探针测试仪 | 第23页 |
| ·激光诱导击穿光谱 (LIBS)技术 | 第23页 |
| ·WO_3电致变色材料及器件 | 第23-29页 |
| ·电致变色材料 | 第24-25页 |
| ·WO_3薄膜电致变色机理 | 第25-26页 |
| ·WO_3的晶体结构 | 第26-27页 |
| ·电致变色器件结构 | 第27-28页 |
| ·电致变色器件的应用 | 第28-29页 |
| ·ZAO 的基本性质及其应用 | 第29-32页 |
| ·透明导电材料介绍 | 第29页 |
| ·透明导电材料的发展 | 第29-30页 |
| ·ZnO 的结构 | 第30-31页 |
| ·ZnO 的 n 型掺杂 | 第31页 |
| ·ZnO 的 p 型掺杂 | 第31页 |
| ·ZnO 薄膜的应用 | 第31-32页 |
| ·本文研究的目的、内容和创新点 | 第32-34页 |
| ·研究目的 | 第32页 |
| ·研究内容 | 第32-33页 |
| ·本文创新点 | 第33-34页 |
| 第二章 薄膜的制备 | 第34-39页 |
| ·磁控溅射技术 | 第34-37页 |
| ·辉光放电 | 第34-35页 |
| ·溅射现象与溅射机理 | 第35-36页 |
| ·磁控溅射原理 | 第36页 |
| ·反应磁控溅射 | 第36-37页 |
| ·薄膜的制备 | 第37-38页 |
| ·实验设备简介 | 第37页 |
| ·实验材料 | 第37-38页 |
| ·衬底的清洗 | 第38页 |
| ·薄膜制备过程 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 溅射功率对 WO_3薄膜性能的影响 | 第39-45页 |
| ·WO_3薄膜的制备工艺参数 | 第39页 |
| ·溅射功率与 WO_3薄膜的结构 | 第39-41页 |
| ·溅射功率对 WO_3薄膜 AFM 形貌的影响 | 第41-42页 |
| ·溅射功率与 WO_3薄膜的 SEM 形貌 | 第42-43页 |
| ·溅射功率对 WO_3薄膜沉积速率的影响 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 AZO 薄膜的制备及性能 | 第45-59页 |
| ·AZO 靶材的制备 | 第45-47页 |
| ·退火温度与 AZO 薄膜的结构以及性能 | 第47-49页 |
| ·退火温度与 AZO 薄膜的结构 | 第47-48页 |
| ·退火温度与 AZO 薄膜 SEM 形貌 | 第48-49页 |
| ·退火温度与 AZO 薄膜电学性能 | 第49页 |
| ·工作气压与 AZO 薄膜性能 | 第49-52页 |
| ·工作气压与 AZO 薄膜的结构 | 第49-51页 |
| ·溅射气压与 AZO 薄膜的电学性能 | 第51-52页 |
| ·溅射功率与 AZO 薄膜性能 | 第52-57页 |
| ·溅射功率与 AZO 薄膜的结构 | 第53-54页 |
| ·溅射功率与 AZO 薄膜表面形貌 | 第54-55页 |
| ·溅射功率与 AZO 薄膜电阻率 | 第55-56页 |
| ·溅射功率与 AZO 薄膜光学性能 | 第56-57页 |
| ·激光诱导击穿光谱（ LIBS）测试 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 Li~+电解质的制备及性能 | 第59-64页 |
| ·Li~+凝胶电解质的制备 | 第59页 |
| ·钛酸镧锂（ LLTO）固体电解质薄膜的制备及性能 | 第59-63页 |
| ·LLTO 靶材的制备 | 第59-61页 |
| ·LLTO 薄膜的制备及结构 | 第61-62页 |
| ·LLTO 薄膜离子电导率测试 | 第62-63页 |
| ·本章总结 | 第63-64页 |
| 第六章 WO_3薄膜电致变色器件的制备及性能 | 第64-71页 |
| ·胶态 WO_3薄膜电致变色器件的制备及性能 | 第64-68页 |
| ·胶态 WO_3薄膜电致变色器件的结构 | 第64页 |
| ·胶态 WO_3电致变色薄膜的制备及器件组装 | 第64-65页 |
| ·胶态 WO_3薄膜电致变色器件的光学性能 | 第65-68页 |
| ·着色 /褪色时间 | 第68页 |
| ·固态 WO_3薄膜电致变色器件的制备及性能 | 第68-69页 |
| ·本章总结 | 第69-71页 |
| 第七章 玻璃衬底 AZO/Al_2O_3/AZO 节能薄膜制备及性能 | 第71-78页 |
| ·黑体辐射与太阳辐射 | 第71-73页 |
| ·黑体辐射以及维恩位移定律的推导 | 第71-73页 |
| ·太阳辐射与近红外辐射 | 第73页 |
| ·红外反射原理 | 第73-74页 |
| ·AZO/Al_2O_3/AZO 薄膜膜层设计 | 第74-75页 |
| ·AZO/Al_2O_3/AZO 薄膜的制备及性能 | 第75-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第八章 总结与展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-86页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第86-87页 |
