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CVD金刚石薄膜的掺杂及其电化学性能的研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-6页
目录第6-8页
第一章 绪论第8-23页
   ·课题的研究背景第8页
   ·污水处理方法的分类第8-11页
     ·常规的处理方法第8-9页
     ·电化学法第9-11页
   ·本征金刚石与掺杂金刚石第11-16页
     ·本征金刚石第11-14页
     ·掺杂金刚石第14-16页
   ·BDD薄膜的表面修饰第16-18页
     ·等离子体处理第16页
     ·化学反应法第16-17页
     ·沉积薄膜法第17页
     ·离子注入和电沉积第17页
     ·光化学修饰法第17-18页
   ·BDD薄膜的电化学性质第18-20页
     ·宽的电势窗口,低的背景电流第18-19页
     ·低吸附性第19页
     ·高化学稳定性第19-20页
     ·自净化能力第20页
     ·电解稳定,效率高第20页
   ·BDD薄膜的应用第20-22页
     ·电化学合成第20页
     ·在污水处理中的应用第20-21页
     ·电化学检测第21页
     ·生物传感器方面的应用第21-22页
   ·本文的研究内容第22-23页
第二章 实验原理与过程第23-33页
   ·HFCVD沉积金刚石薄膜原理第23-25页
     ·HFCVD沉积原理第23-24页
     ·实验设备第24-25页
   ·BDD薄膜导电机理第25-26页
   ·实验过程第26-28页
     ·实验材料第26页
     ·基体预处理第26-27页
     ·BDD膜表面修饰第27页
     ·灯丝预处理第27-28页
     ·试验流程图第28页
   ·样品表征第28-33页
     ·扫描电子显微镜第28-29页
     ·X射线衍射仪第29-30页
     ·拉曼光谱仪第30页
     ·电化学工作站第30-33页
第三章 BDD薄膜的制备与表征第33-42页
   ·沉积条件第33页
   ·硼掺杂对金刚石薄膜物相的影响第33-34页
   ·不同硼烷甲烷体积比的金刚石薄膜的扫描电镜分析第34-36页
   ·不同硼烷甲烷体积比金刚石薄膜的拉曼光谱第36-39页
     ·硼烷甲烷体积比对拉曼曲线的影响第36-37页
     ·薄膜晶粒内部掺硼量的计算第37-39页
   ·薄膜均匀性的表征第39-41页
   ·本章小结第41-42页
第四章 BDD电极的电化学性能第42-57页
   ·电化学检测原理第43-44页
   ·电极封装第44-45页
   ·V(B_2H_6)/V(CH_4)对BDD电极的电势窗口和背景电流的影响第45-46页
   ·不同电解液对金刚石电极电化学性能的影响第46-49页
   ·表面修饰对BDD电极电化学性能的影响第49-52页
     ·混酸处理对BDD膜Raman光谱的影响第49-50页
     ·表面修饰对BDD电极的电化学性能的影响第50-52页
   ·掺硼浓度对BDD电极电化学降解苯酚性能的影响第52-55页
   ·本章小结第55-57页
第五章 结论与展望第57-59页
 结论第57页
 展望第57-59页
参考文献第59-65页
致谢第65-66页
攻读学位期间主要的研究成果第66页

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