基于神经网络的离子束抛光工艺参数算法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-13页 |
| ·研究的背景及意义 | 第8页 |
| ·光学元件超精密加工的研究现状 | 第8-10页 |
| ·离子束抛光的技术发展和研究现状 | 第10-11页 |
| ·离子束抛光的特点 | 第11页 |
| ·本文研究的主要内容及章节安排 | 第11-13页 |
| 第2章 离子束抛光原理及去除函数模型的建立 | 第13-19页 |
| ·溅射原理 | 第13-14页 |
| ·数据分析 | 第14-15页 |
| ·计算机控制光学表面成形技术 | 第15-16页 |
| ·离子束去除函数模型的推导 | 第16-18页 |
| ·均匀离子束轰击下的表面刻蚀速率 | 第16-17页 |
| ·去除函数模型建立 | 第17-18页 |
| ·本章总结 | 第18-19页 |
| 第3章 去除函数参数的神经网络构建 | 第19-27页 |
| ·神经网络概述 | 第19-21页 |
| ·神经网络的选择 | 第21页 |
| ·神经网络算法的实现 | 第21-25页 |
| ·BP神经网络的算法原理及优点 | 第21-22页 |
| ·BP神经网络算法的实现 | 第22-25页 |
| ·BP神经网络的算法步骤 | 第25页 |
| ·神经网络的结构 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第4章 BP神经网络的参数选取 | 第27-35页 |
| ·网络训练方式 | 第27页 |
| ·归一化函数与激活函数 | 第27-30页 |
| ·归一化函数 | 第27-29页 |
| ·激活函数 | 第29-30页 |
| ·神经网络学习率 | 第30-32页 |
| ·神经网络隐含层神经元个数 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第5章 驻留时间的求解 | 第35-46页 |
| ·线性方程组法 | 第35-39页 |
| ·CEH模型 | 第35-36页 |
| ·TSVD算法 | 第36-37页 |
| ·参数优化 | 第37-38页 |
| ·仿真研究 | 第38-39页 |
| ·迭代算法 | 第39-45页 |
| ·脉冲迭代法 | 第40-41页 |
| ·边缘效应控制 | 第41-42页 |
| ·参数优化 | 第42-43页 |
| ·仿真分析 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第6章 总结与展望 | 第46-48页 |
| ·总结 | 第46-47页 |
| ·研究展望 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 致谢 | 第50页 |
