| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 引言 | 第14-16页 |
| 1 绪论 | 第16-24页 |
| ·研究目的和意义 | 第16页 |
| ·国内外微纳米测头的研究现状 | 第16-20页 |
| ·国内外六维微力传感器的研究现状 | 第20-22页 |
| ·课题来源 | 第22页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 2 基于六维力测量原理的微纳米测头的测量原理与结构设计 | 第24-30页 |
| ·微纳米测头系统的基本要求 | 第24-25页 |
| ·测头系统整体设计及测量原理 | 第25-26页 |
| ·测头系统组件结构设计与材料选择 | 第26-29页 |
| ·弹性体结构设计及材料选择 | 第26-27页 |
| ·底座、端盖结构设计及材料选择 | 第27页 |
| ·测杆、测球结构设计及材料选择 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 微纳米测头结构优化设计 | 第30-46页 |
| ·有限元法 | 第30-31页 |
| ·有限元原理与方法 | 第30页 |
| ·有限元软件 | 第30-31页 |
| ·微纳米测头静态有限元分析 | 第31-33页 |
| ·微纳米测头的有限元模型 | 第31-33页 |
| ·微纳米测头静态有限元分析 | 第33页 |
| ·正交试验原理及实验方案设计 | 第33-35页 |
| ·交试验原理 | 第33-34页 |
| ·实验方案设计 | 第34-35页 |
| ·优化实验及结果 | 第35-41页 |
| ·压阻式传感器的分布与组桥 | 第41-44页 |
| ·压阻式传感器 | 第41-42页 |
| ·分布位置与组桥方式 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 4 微纳米测头静态特性分析及静态解耦 | 第46-54页 |
| ·微纳米测头静态特性分析 | 第46-49页 |
| ·微纳米测头静态解耦原理 | 第49-52页 |
| ·静态线性解耦原理 | 第49页 |
| ·基于BP神经网络的静态非线性解耦原理 | 第49-52页 |
| ·基于BP神经网络静态解耦仿真实验及结论 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 微纳米测头动态特性分析及动态解耦 | 第54-72页 |
| ·微纳米测头动态特性分析 | 第54-63页 |
| ·微纳米测头的模态分析 | 第54-56页 |
| ·微纳米测头的谐响应分析 | 第56-59页 |
| ·微纳米测头的瞬态分析 | 第59-63页 |
| ·动态解耦原理 | 第63-67页 |
| ·独立成分分析的原理 | 第63页 |
| ·数据的预处理 | 第63-64页 |
| ·熵与负熵 | 第64-66页 |
| ·FastICA算法 | 第66-67页 |
| ·动态解耦实验及结论 | 第67-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 结论与展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 附录A 基于BP神经网络静态解耦程序 | 第78-79页 |
| 附录B FastICA子程序图 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 作者简介及读研期间主要科研成果 | 第82页 |