| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-22页 |
| ·MEMS 介绍 | 第14-18页 |
| ·MEMS 传感器的特点 | 第15-16页 |
| ·MEMS 研究背景 | 第16-18页 |
| ·MEMS 加速度传感器发展及研究现状 | 第18-20页 |
| ·本文的研究目的和内容 | 第20-22页 |
| 第二章 MEMS 加速度传感器的工作原理和类型 | 第22-33页 |
| ·加速度传感器检测原理 | 第22-24页 |
| ·加速度传感器类型及原理 | 第24-32页 |
| ·压阻式加速度传感器 | 第24-25页 |
| ·电容式加速度传感器 | 第25-29页 |
| ·检测原理 | 第25-27页 |
| ·梳状叉指式电容加速度计 | 第27-29页 |
| ·压电式加速度传感器 | 第29-31页 |
| ·谐振式加速度传感器 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 CMOS MEMS 三轴电容加速度计结构设计与理论分析 | 第33-48页 |
| ·三轴电容式加速度传感器的检测方式 | 第33-34页 |
| ·三轴电容式加速度计的总体结构设计 | 第34-39页 |
| ·弹性梁的设计 | 第34-36页 |
| ·传感器整体结构设计 | 第36-37页 |
| ·检测原理分析 | 第37-38页 |
| ·交叉耦合性分析 | 第38-39页 |
| ·灵敏度分析 | 第39页 |
| ·水平方向 | 第39页 |
| ·垂直方向 | 第39页 |
| ·有限元模拟验证 | 第39-47页 |
| ·静力分析 | 第39-45页 |
| ·模态分析 | 第45-46页 |
| ·灵敏度模拟验证 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 电容式加速度计检测电路设计与分析 | 第48-57页 |
| ·电容式加速度传感器的电路检测原理 | 第48-52页 |
| ·开关电容电路 | 第48-49页 |
| ·交流桥式检测电路 | 第49-50页 |
| ·双路调制型检测电路 | 第50-51页 |
| ·双载波低阻调制型检测电路 | 第51-52页 |
| ·检测电路设计 | 第52-54页 |
| ·放大器结构设计 | 第52-54页 |
| ·检测电路仿真 | 第54-56页 |
| ·运算放大器仿真 | 第54-55页 |
| ·整体电路仿真 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 CMOS MEMS 加速度计的制备工艺 | 第57-71页 |
| ·常见的 MEMS 结构加工工艺 | 第57-66页 |
| ·表面硅加工技术 | 第57-58页 |
| ·体硅加工技术 | 第58-60页 |
| ·特殊加工工艺 | 第60-62页 |
| ·CMOS MEMS 技术 | 第62-66页 |
| ·单片集成 CMOS MEMS 三轴电容加速度计制备过程 | 第66-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-72页 |
| ·工作总结 | 第71页 |
| ·后续研究 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第75-77页 |