| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| ·选题背景及研究意义 | 第9-11页 |
| ·课题的技术要求 | 第11页 |
| ·本课题研究内容 | 第11-13页 |
| 2 激光切割电容式Z 浮基本工作原理 | 第13-25页 |
| ·激光切割电容式Z 浮整体工作流程 | 第13-14页 |
| ·平行板电容传感器工作原理 | 第14-19页 |
| ·几种测微电路的基本测量电路 | 第19-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 Z 浮电容传感器的结构优化设计 | 第25-34页 |
| ·Z 浮电容传感器的各种影响因素分析及结构设计 | 第25-31页 |
| ·Z 浮电容传感器的结构及尺寸参数 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 4 微小电容检测系统的设计 | 第34-48页 |
| ·微小电容检测系统的方案设计 | 第34-35页 |
| ·系统的具体电路构成 | 第35-44页 |
| ·系统中的干扰分析及解决措施 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 实验结果与关键问题分析 | 第48-61页 |
| ·传感器静态测试参数 | 第48-49页 |
| ·系统的测量实验 | 第49-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 6 全文总结 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |