| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-11页 |
| 致谢 | 第11-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-35页 |
| ·选题研究的目的及意义 | 第17-18页 |
| ·微结构表面形貌和轮廓要素检测技术综述 | 第18-23页 |
| ·扫描探针显微镜(SPM) | 第19-20页 |
| ·光干涉法 | 第20-21页 |
| ·光学探针法 | 第21-22页 |
| ·纳米测量机 | 第22-23页 |
| ·共焦检测技术的新进展 | 第23-34页 |
| ·扫描共焦扫描显微镜 | 第24-28页 |
| ·并行(非扫描)共焦探测 | 第28-34页 |
| ·论文主要研究内容 | 第34-35页 |
| 第二章 基于像散原理的并行共焦三维成像数学建模 | 第35-61页 |
| ·引言 | 第35-39页 |
| ·薄透镜的透过函数 | 第36-37页 |
| ·菲涅尔衍射 | 第37页 |
| ·薄透镜三维相干成像 | 第37-39页 |
| ·基于微透镜阵列的并行共焦相干成像数学建模 | 第39-49页 |
| ·照明光路的3D-PSF | 第40-44页 |
| ·探测光路3D-PSF | 第44-46页 |
| ·并行共焦系统检测特性研究 | 第46-49页 |
| ·基于像散原理的并行共焦相干成像数学建模及特性分析 | 第49-59页 |
| ·像散镜组三维成像研究 | 第51-53页 |
| ·探测光路3D-PSF | 第53-56页 |
| ·被测表面倾斜对并行检测特性的影响分析 | 第56-59页 |
| 本章小结 | 第59-61页 |
| 第三章 基于像散原理的并行共焦系统设计及优化 | 第61-75页 |
| ·系统光学设计 | 第61-66页 |
| ·系统放大倍率确定 | 第62-63页 |
| ·器件选择以及其特性评估 | 第63-65页 |
| ·像散镜组优化设计 | 第65-66页 |
| ·系统特性评估 | 第66-72页 |
| ·照明光路特性评估 | 第66-69页 |
| ·探测光路特性评估 | 第69-71页 |
| ·物面倾斜角对检测精度影响分析 | 第71-72页 |
| ·检测系统特性与结构设计 | 第72-73页 |
| ·基于像散原理的并行共焦检测系统特性 | 第72-73页 |
| ·系统结构设计 | 第73页 |
| 本章小结 | 第73-75页 |
| 第四章 三维形貌信息萃取算法研究及系统特性测试 | 第75-95页 |
| ·全场并行测点正焦信息萃取算法研究 | 第75-81页 |
| ·光场横向定位与分割 | 第77-78页 |
| ·差动光强统计与检测曲线 | 第78页 |
| ·检测曲线“零”点有效搜索区域裁定 | 第78-80页 |
| ·检测曲线“零”点萃取 | 第80-81页 |
| ·微结构形貌检测应用程序设计 | 第81-84页 |
| ·应用程序功能及设计 | 第81-82页 |
| ·摄像机控制、图像显示处理以及信息萃取 | 第82-83页 |
| ·全场检测曲线“零”点辨识流程 | 第83-84页 |
| ·基于像散原理的并行共焦系统特性实验研究 | 第84-89页 |
| ·并行光场检测曲线灵敏度评估 | 第84-87页 |
| ·全场检测曲线稳定性评估 | 第87-89页 |
| ·图像预处理方法对全场检测曲线的改进作用 | 第89-93页 |
| ·“暗化”处理对检测曲线过“零”灵敏度的提升作用 | 第89-91页 |
| ·“非线性增强”处理对提高测点正焦位置辨识精度的作用 | 第91-93页 |
| 本章小结 | 第93-95页 |
| 第五章 表面形貌三维重构与可视化测量 | 第95-114页 |
| ·插值样条曲面重构理论综述 | 第96-98页 |
| ·微结构表面三维重构 | 第98-105页 |
| ·双三次插值样条函数曲面的定义 | 第98页 |
| ·三次插值样条函数曲线 | 第98-100页 |
| ·双三次插值样条函数表面重构的实现 | 第100-102页 |
| ·重构精度分析 | 第102-105页 |
| ·微结构形貌和轮廓要素的可视化测量 | 第105-113页 |
| ·可视化测量的基本问题——拾取 | 第105-107页 |
| ·可视化测量的实现 | 第107-109页 |
| ·标定与实验 | 第109-113页 |
| 本章小结 | 第113-114页 |
| 第六章 总结与展望 | 第114-117页 |
| 参考文献 | 第117-122页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第122-123页 |
| 附图 | 第123页 |