基于泰曼—格林干涉的球面面形在线检测仪研制
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 中文文摘 | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·背景介绍 | 第8-12页 |
| ·背景分析 | 第12页 |
| ·论文主要内容 | 第12-14页 |
| 第2章 球面光学镜片面形检验方法及其评价标准 | 第14-22页 |
| ·球面光学镜片面形偏差 | 第14页 |
| ·球面面形干涉检测原理 | 第14-17页 |
| ·典型球面光学镜片面形检验的方法及其评价指标 | 第17-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 泰曼-格林球面面形在线检测系统的设计 | 第22-32页 |
| ·仪器的设计指标 | 第22-23页 |
| ·系统的构成及工作原理 | 第23-24页 |
| ·系统的模拟分析 | 第24-27页 |
| ·相关器件的选择 | 第27-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 泰曼-格林球面面形在线检测仪的结构设计 | 第32-48页 |
| ·样机的整体结构设计 | 第32-35页 |
| ·固紧机构的设计 | 第35-40页 |
| ·光路调节机构的设计 | 第40-44页 |
| ·样机主体的设计 | 第44-46页 |
| ·材料选择 | 第46页 |
| ·杂散光的抑制 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第5章 样机装配及实验 | 第48-56页 |
| ·样机的装配 | 第48页 |
| ·样片检测 | 第48-53页 |
| ·样机存在的不足及改进方案 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第6章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·总结 | 第56页 |
| ·本文创新点 | 第56-57页 |
| ·进一步工作展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 攻读学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 个人简历 | 第64-65页 |
