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Bi系氧化物薄膜分子束外延法制备及物理性能的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第1章 绪论第10-21页
   ·超导体简介第10-11页
   ·高温超导体的发展第11-13页
   ·Bi系氧化物超导薄膜研究第13-20页
     ·Bi系氧化物薄膜的特点和结构特征第13-16页
     ·Bi系氧化物薄膜的制备工艺第16-17页
     ·Bi系氧化物薄膜的基片选择第17-18页
     ·Bi系氧化物薄膜的研究现状第18-20页
   ·本文的研究意义及内容第20-21页
第2章 实验原理与表征手段第21-29页
   ·分子束外延法第21-23页
     ·分子束外延装置第21-23页
     ·分子束外延方法的特点第23页
   ·X射线衍射分析第23-24页
   ·扫描电子显微镜和原子力显微镜第24-27页
     ·扫描电子显微镜第24-25页
     ·原子力显微镜第25-27页
   ·X射线能谱仪第27页
   ·四引线法测量电学性能第27-28页
   ·真空退火炉第28-29页
第3章 实验准备与样品制备第29-40页
   ·臭氧浓缩第29-32页
     ·臭氧浓缩装置的组成第29-31页
     ·硅胶温度对臭氧浓度的影响第31-32页
   ·金属源单质锭第32-34页
     ·Sr和Ca单质锭的烧结第32-33页
     ·Bi和Cu单质锭的烧结第33-34页
   ·蒸发速率第34-38页
     ·Bi和Cu蒸发速率的测量第35-37页
     ·Sr和Ca蒸发速率的测量第37-38页
   ·样品制备第38-40页
第4章 Bi系氧化物超导薄膜的制备、结构与性能分析第40-58页
   ·Bi-2201薄膜的制备及结构分析第40-45页
     ·Bi-2201薄膜的制备第40页
     ·Bi_2Sr_2CuO_(6+δ)薄膜的结构和表面形貌分析第40-42页
     ·Sr位掺Ca的Bi-2201薄膜的结构及性能分析第42-45页
   ·Bi_2Sr_2CaCu_2O_(8+δ)薄膜的制备、结构及性能研究第45-58页
     ·Bi-2212相薄膜的制备第45页
     ·Bi-2212薄膜成相的主要参数研究第45-52页
     ·Bi-2212薄膜结晶性改善及物理性能研究第52-58页
第5章 结论第58-59页
参考文献第59-67页
致谢第67页

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