| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 引言 | 第8-16页 |
| ·热电效应基本原理 | 第8-10页 |
| ·热电材料发展概况 | 第10-11页 |
| ·过渡金属硅化物和MnSi_(1.73) 的研究 | 第11-15页 |
| ·本论文研究内容及意义 | 第15-16页 |
| 第2章 实验方法与装置 | 第16-24页 |
| ·MnSi_(1.7) 薄膜制备方法与装置 | 第16-20页 |
| ·电子束蒸发镀膜 | 第16-17页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第17-19页 |
| ·薄膜制备一般流程 | 第19-20页 |
| ·MnSi_(1.7) 薄膜热电性能测量方法与装置 | 第20-24页 |
| ·电阻率及Seebeck 系数测量的一般方法 | 第20页 |
| ·电阻率及Seebeck 系数测量实验装置与测量方法 | 第20-23页 |
| ·其它测试 | 第23-24页 |
| 第3章 MnSi_(1.7)薄膜的俄歇电子能谱分析 | 第24-41页 |
| ·MnSi_(1.7) 薄膜样品制备条件 | 第24页 |
| ·样品的X 射线衍射与热电测量结果 | 第24-27页 |
| ·样品的俄歇能谱测试结果与分析 | 第27-39页 |
| ·样品P1605 的俄歇能谱测试结果与分析 | 第27-30页 |
| ·样品P1208 的俄歇能谱测试结果与分析 | 第30-34页 |
| ·样品N2904 的俄歇能谱测试结果与分析 | 第34-37页 |
| ·几点讨论 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 n 型MnSi_(1.7)薄膜的C 掺杂研究 | 第41-49页 |
| ·样品制备 | 第41-43页 |
| ·实验结果与讨论 | 第43-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 第5章 纳米尺寸MnSi_(1.7)薄膜的制备及Fe 掺杂 | 第49-64页 |
| ·纳米尺寸的MnSi_(1.7) 薄膜热电性能研究 | 第49-59页 |
| ·样品制备 | 第49-50页 |
| ·实验结果与讨论 | 第50-59页 |
| ·小结 | 第59页 |
| ·纳米尺寸MnSi_(1.7) 薄膜的Fe 掺杂研究 | 第59-64页 |
| ·样品制备 | 第59-60页 |
| ·实验结果与讨论 | 第60-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 第6章 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第73页 |
