用于传像光纤束集成的折射微透镜阵列研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-19页
·微光学的发展概述	第8-10页
·微透镜阵列的简介	第10-11页
·微透镜阵列的制作	第11-15页
·微透镜的应用	第15-18页
·本文研究的主要内容	第18-19页
2 光纤束数据获取及掩模版的设计	第19-24页
·图像的采集	第19-20页
·传像光纤束的测量	第20-21页
·掩模版的设计	第21-23页
·本章小结	第23-24页
3 折射微透镜阵列的设计理论	第24-35页
·表面张力理论	第24-27页
·球冠形折射微透镜的设计理论	第27-29页
·柱形折射微透镜的设计理论	第29-31页
·ZEMAX 模拟和实际参数的制定	第31-34页
·本章小结	第34-35页
4 折射微透镜阵列的制作	第35-54页
·基片处理	第35-36页
·涂胶和前烘	第36-39页
·曝光	第39-40页
·显影	第40-41页
·热熔	第41-42页
·退火	第42-43页
·离子束刻蚀	第43-50页
·测试分析	第50-53页
·本章小结	第53-54页
5 微透镜阵列与传像光纤束的集成	第54-60页
·微透镜阵列提高光纤束耦合效率的原理	第54-55页
·光学填充系数估算	第55-56页
·集成方式	第56-57页
·微透镜阵列与传像光纤束的集成	第57-59页
·本章小结	第59-60页
6 总结与展望	第60-62页
致谢	第62-63页
参考文献	第63-66页