| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第9-11页 |
| ·国内外研究现状分析 | 第11-18页 |
| ·国内外大口径光学元件加工技术发展现状 | 第11-12页 |
| ·国内外大口径光学元件测量技术发展现状 | 第12-17页 |
| ·剪切干涉测量方法国内外技术发展现状及趋势 | 第17-18页 |
| ·论文主要内容 | 第18-19页 |
| 第2章 光学零件表面轮廓测量方法 | 第19-29页 |
| ·剪切干涉测量原理 | 第19-21页 |
| ·传统剪切干涉测量原理 | 第19-20页 |
| ·Zygo 干涉仪的结构及工作原理 | 第20-21页 |
| ·EFL M50 干涉仪测量原理 | 第21-27页 |
| ·EFL M50 干涉仪测量理论 | 第21-22页 |
| ·剪切干涉图的处理及相位分析 | 第22-27页 |
| ·EFL M50 干涉仪结构设计与参数调整 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 光学零件表面轮廓的测量实验 | 第29-39页 |
| ·实验设备及所测零件 | 第29-31页 |
| ·实验的测量对象 | 第29页 |
| ·测量实验所用的EFL M50 干涉仪 | 第29-30页 |
| ·测量实验所用的Form Talysurf PGI 表面形状测量仪 | 第30-31页 |
| ·使用EFLM50 干涉仪的平面测量实验 | 第31-34页 |
| ·测量实验步骤安排 | 第31页 |
| ·测量实验及结果 | 第31-34页 |
| ·使用PGI 的测量平面实验 | 第34-37页 |
| ·测量实验步骤 | 第34-35页 |
| ·测量实验及结果 | 第35-37页 |
| ·测量结果的对比分析 | 第37-38页 |
| ·RMS 分析 | 第37-38页 |
| ·P-V 分析 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 光学零件表面轮廓测量精度影响因素分析 | 第39-45页 |
| ·PGI 的测量精度影响因素及误差分析 | 第39-40页 |
| ·EFLM50 干涉仪测量影响因素分析 | 第40-41页 |
| ·两种测量方法的优缺点比较 | 第41页 |
| ·在位剪切干涉测量总体误差分析 | 第41-44页 |
| ·系统误差 | 第42页 |
| ·阿贝、余弦误差 | 第42-43页 |
| ·环境误差 | 第43页 |
| ·延时误差 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 结论 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-52页 |
| 致谢 | 第52页 |