利用空间载频外差干涉术在平面干涉仪上实现大曲率光学零件的检测
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·问题的提出 | 第9页 |
| ·检测球面光学零件表面面形的常用方法 | 第9-12页 |
| ·方案论证 | 第12-15页 |
| 第二章 空间载频外差干涉原理及方法 | 第15-20页 |
| ·基本理论 | 第15-16页 |
| ·空间载频外差干涉术原理及方法 | 第16-20页 |
| 第三章 干涉图处理分析及关键技术 | 第20-38页 |
| ·处理过程概述 | 第20-21页 |
| ·图像的预处理 | 第21-23页 |
| ·边界延拓 | 第23-25页 |
| ·相位解包裹 | 第25-31页 |
| ·解包裹原理 | 第25-26页 |
| ·解包裹方法 | 第26-31页 |
| ·Zernike多项式拟合 | 第31-36页 |
| ·Zernike多项式拟合 | 第31-33页 |
| ·Zernike多项式分析 | 第33-35页 |
| ·Zernike多项式阶数的选择 | 第35-36页 |
| ·数据计算 | 第36-37页 |
| ·干涉条纹的模拟 | 第37-38页 |
| 第四章 实验系统的硬件与软件 | 第38-47页 |
| ·干涉仪的设计 | 第38-43页 |
| ·干涉仪设计要点 | 第38-39页 |
| ·干涉仪的设计 | 第39-43页 |
| ·摄像机与图像采集卡 | 第43-44页 |
| ·软件系统 | 第44-47页 |
| 第五章 实验及误差分析 | 第47-64页 |
| ·实验及分析 | 第47-61页 |
| ·实验一 | 第47-52页 |
| ·实验二 | 第52-56页 |
| ·实验三 | 第56-61页 |
| ·误差分析 | 第61-64页 |
| ·硬件引起的误差 | 第61-62页 |
| ·软件引起的误差 | 第62-63页 |
| ·环境造成的误差 | 第63-64页 |
| 第六章 总结 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第68页 |
