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超精密激光三维测量与控制技术研究

中文摘要第1-5页
英文摘要第5-10页
第一章 绪论第10-22页
   ·三坐标测量机及其发展趋势第10-15页
     ·三坐标测量机第10-14页
     ·三坐标测量机的发展趋势第14-15页
   ·国内外研究状况第15-17页
   ·课题背景及其研究意义第17-19页
   ·课题研究的主要内容和创新性第19-22页
第二章 激光三维测量系统总体设计第22-56页
   ·机械结构部分第22-28页
   ·激光干涉测长/读数系统第28-35页
     ·单频激光测长原理第28-30页
     ·主要特点第30-32页
     ·激光干涉仪误差分析第32-35页
   ·高精度三维模拟量电感测头系统第35-37页
   ·分布式多坐标控制系统第37-49页
     ·系统主要模块第38-44页
     ·主控制模块第44-49页
   ·数据处理软件系统第49-53页
     ·数据处理软件第49-50页
     ·坐标测量机误差补偿第50-53页
   ·环境控制及防护系统第53-56页
     ·环境的影响第53-54页
     ·恒温双层保护罩的防护第54-56页
第三章 位置控制算法与工程应用第56-64页
   ·分布式位置控制算法第56-58页
   ·控制器设计第58-59页
   ·分布式位置控制系统结构第59-61页
   ·一些工程问题的解决第61-64页
     ·抛物线型速度轨迹的近似实现第61页
     ·位置在线修正第61-62页
     ·平滑算法第62-64页
第四章 高精度三维模拟量电感测头误差补偿技术第64-84页
   ·测球半径修正和测头补偿第64-71页
     ·通过直接采点的方法修正测头半径第65-67页
     ·通过几何元素修正测头半径第67-69页
     ·测头补偿第69-71页
   ·采用测头补偿方法计算几何元素第71-81页
     ·校正第71-78页
     ·几何元素计算第78-81页
   ·测头补偿举例第81-84页
第五章 控制软件设计第84-106页
   ·CNC 模块简介第84-86页
     ·敏感性第84页
     ·正确性和完备性第84-85页
     ·可靠性第85-86页
   ·主程序和初始化第86-88页
   ·计数和软件细分第88-93页
     ·存储结构第88页
     ·细分原理第88-91页
     ·位置确定第91-92页
     ·激光波长补偿第92-93页
   ·控制方法和定位第93-98页
   ·测量进给控制第98-101页
     ·定位控制第98-99页
     ·飞行定位控制第99页
     ·点——点定位方式第99-100页
     ·触测减速控制第100-101页
   ·通信和数据管理第101-103页
     ·辅助地址第102页
     ·字节输出子程序第102-103页
     ·字节输入子程序第103页
     ·IEEE-488 初始化第103页
   ·触测与清零子程序第103-106页
第六章 实验与结论第106-114页
   ·高精度单频激光干涉仪标定实验第106-109页
     ·单频激光波长标定第106页
     ·单频激光干涉仪测量不确定度第106-107页
     ·结论第107-109页
   ·测量系统补偿实验第109-113页
     ·21 项误差补偿第109-111页
     ·整机单项误差检测第111-112页
     ·超精密激光三维测量机补偿数据第112-113页
   ·整机标定实验第113-114页
     ·验收检测第113页
     ·整机系统精度第113-114页
第七章 总结与展望第114-116页
   ·总结第114页
   ·坐标精密测量的发展趋势展望第114-116页
参考文献第116-124页
发表论文和科研情况说明第124-125页
致谢第125页

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