| 中文摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·课题的目的和意义 | 第7页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-15页 |
| ·微型三坐标测量机 | 第9页 |
| ·三坐标测头 | 第9-15页 |
| ·接触式测头 | 第10页 |
| ·非接触式测头 | 第10-15页 |
| ·三坐标测头主要发展方向 | 第15页 |
| ·课题主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 测量原理 | 第17-25页 |
| ·扫描共焦显微检测法简介 | 第17-18页 |
| ·动态主动调焦测量原理 | 第18-19页 |
| ·测量方案与振动参数分析 | 第19-23页 |
| ·振动透镜位移量和物镜聚光点之间的函数关系推导 | 第19-21页 |
| ·振动透镜轴向位移测量方案 | 第21页 |
| ·影响测量精度的振动参数分析 | 第21-23页 |
| ·测量系统的结构方案 | 第23-25页 |
| 第三章 系统结构设计 | 第25-48页 |
| ·建立在共焦原理上的聚焦光点和光电探测器件的数学模型 | 第25-26页 |
| ·部分器件选型 | 第26-30页 |
| ·激光光源 | 第26-28页 |
| ·透镜选择 | 第28-29页 |
| ·精密光学滤光片 | 第29-30页 |
| ·音叉振动系统 | 第30-39页 |
| ·音叉固有频率的选择 | 第31页 |
| ·音叉结构尺寸的确定 | 第31-33页 |
| ·音叉材料的选择和热处理 | 第33-34页 |
| ·正反馈音叉自振系统 | 第34-36页 |
| ·电磁线圈的优化设计 | 第36-39页 |
| ·光信号探测结构 | 第39-41页 |
| ·针孔选择 | 第41-43页 |
| ·总的机械结构 | 第43-48页 |
| 第四章 电路设计 | 第48-53页 |
| ·激振和感应电路 | 第48-49页 |
| ·信号处理电路的组成 | 第49-53页 |
| 第五章 实验结果 | 第53-62页 |
| ·音叉振动稳定性 | 第53-55页 |
| ·测头光电信号 | 第55-58页 |
| ·测量结果 | 第58-61页 |
| ·比较器输出结果 | 第58页 |
| ·在现有条件下的微动台步进实验比较器输出结果 | 第58-59页 |
| ·重复性实验 | 第59-60页 |
| ·稳定性实验 | 第60-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·主要工作总结 | 第62-63页 |
| ·技术展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |