太阳能硅单晶快速生长中结晶潜热的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-22页 |
| §1-1 硅单晶在硅光电池中的应用 | 第8-10页 |
| 1-1-1 单晶硅电池概况 | 第8-9页 |
| 1-1-2 单晶硅电池对硅材料的要求 | 第9-10页 |
| §1-2 直拉硅单晶生长工艺及研究现状 | 第10-17页 |
| 1-2-1 直拉硅单晶生长工艺 | 第10-14页 |
| 1-2-2 直拉硅单晶生长研究现状 | 第14-17页 |
| §1-3 有限元法及其在晶体生长中的应用 | 第17-21页 |
| 1-3-1 有限元法简介 | 第17-20页 |
| 1-3-2 有限元法在晶体生长中的应用 | 第20-21页 |
| §1-4 本课题的研究方法和研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 直拉炉改造及参数测定 | 第22-31页 |
| §2-1 晶体生长热系统及改造 | 第22-25页 |
| 2-1-1 热系统 | 第22-23页 |
| 2-1-2 TDR-80 炉的热系统的改造 | 第23-25页 |
| §2-2 减压工艺及充气系统改造 | 第25-27页 |
| 2-2-1 减压工艺 | 第25-26页 |
| 2-2-2 充气系统改造 | 第26-27页 |
| §2-3 熔体温度及氧碳含量的测定 | 第27-31页 |
| 2-3-1 熔体温度的测定 | 第27-28页 |
| 2-3-2 硅单晶中的氧碳及测定 | 第28-31页 |
| 第三章 Φ200mm 太阳能硅单晶生长试验 | 第31-39页 |
| §3-1 引言 | 第31-32页 |
| §3-2 试验设计 | 第32-33页 |
| §3-3 结果和分析 | 第33-38页 |
| 3-3-1 导流系统及加热器对熔体温度分布的影响 | 第33-34页 |
| 3-3-2 导流系统及加热器对拉速的影响 | 第34-35页 |
| 3-3-3 导流系统及氩气流量对氧碳含量的影响 | 第35-38页 |
| §3-4 小结 | 第38-39页 |
| 第四章 氩气流场对结晶潜热的影响 | 第39-46页 |
| §4-1 引言 | 第39-40页 |
| §4-2 氩气流场的数值模拟 | 第40-42页 |
| 4-2-1 计算流体力学基本控制方程 | 第40-41页 |
| 4-2-2 计算方法及边界条件 | 第41-42页 |
| §4-3 结果与讨论 | 第42-45页 |
| 4-3-1 不同热系统下氩气的流动图形 | 第42-44页 |
| 4-3-2 氩气流量对熔体流动的影响 | 第44-45页 |
| §4-4 小结 | 第45-46页 |
| 第五章 太阳能硅单晶生长中热场的数值模拟 | 第46-56页 |
| §5-1 引言 | 第46-47页 |
| §5-2 热场的数值模拟 | 第47-51页 |
| 5-2-1 直拉硅单晶生长过程中的热传输 | 第47-48页 |
| 5-2-2 计算模型 | 第48-51页 |
| §5-3 结果与分析 | 第51-55页 |
| §5-4 小结 | 第55-56页 |
| 第六章 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 附录：热场模拟 APDL 建模程序 | 第61-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 硕士期间取得的科研成果 | 第65页 |
