微机械电容式加速度计的设计及制备
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-20页 |
| ·选题背景 | 第8-10页 |
| ·MEMS 加工技术概述 | 第10-13页 |
| ·体微加工技术 | 第10-11页 |
| ·表面微加工技术 | 第11-12页 |
| ·LIGA 技术 | 第12-13页 |
| ·微机械加速度计概述 | 第13-18页 |
| ·微机械加速度计的分类 | 第13-14页 |
| ·微机械电容式加速度计及其分类 | 第14-17页 |
| ·微机械电容式加速度计的发展历程和研究现状 | 第17-18页 |
| ·研究内容 | 第18-19页 |
| ·研究意义 | 第19-20页 |
| 第二章 微机械电容式加速度计原理 | 第20-26页 |
| ·加速度计经典模型分析 | 第20-22页 |
| ·微机械电容式加速度计的阻尼效应 | 第22-24页 |
| ·滑膜阻尼 | 第22-23页 |
| ·压膜阻尼 | 第23-24页 |
| ·支撑梁的弹性系数 | 第24-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 第三章 惯性质量块结构设计及仿真分析 | 第26-36页 |
| ·有限元分析和ANSYS 软件概述 | 第26-28页 |
| ·惯性质量块结构设计及仿真 | 第28-35页 |
| ·一字梁结构分析 | 第28-30页 |
| ·回形梁结构分析 | 第30-33页 |
| ·双轴结构分析 | 第33-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 第四章 微机械电容式加速度计的制备 | 第36-56页 |
| ·相关半导体工艺背景及介绍 | 第36-44页 |
| ·薄膜工艺技术 | 第36-38页 |
| ·PECVD | 第36-37页 |
| ·磁控溅射 | 第37-38页 |
| ·光刻工艺技术 | 第38-40页 |
| ·牺牲层工艺 | 第40-43页 |
| ·刻蚀工艺 | 第43-44页 |
| ·器件制备流程分析 | 第44-55页 |
| ·版图绘制 | 第44-46页 |
| ·流程设计 | 第46-47页 |
| ·惯性质量块的制备 | 第47-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第五章 微机械电容式加速度计信号读出电路分析 | 第56-63页 |
| ·添加反馈回路的电容式加速度计 | 第56-58页 |
| ·小电容信号检测 | 第58-59页 |
| ·差分电容信号的处理 | 第59-62页 |
| ·前置放大电路 | 第59-60页 |
| ·信号的解调电路 | 第60-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结和展望 | 第63-66页 |
| ·总结 | 第63-64页 |
| ·未来工作的展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第72-73页 |
