| 原创性声明 | 第1-3页 |
| 关于学位论文使用授权的声明 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-30页 |
| ·铁电材料的研究背景 | 第9-10页 |
| ·钛酸锶钡铁电材料 | 第10-14页 |
| ·薄膜铁电材料的发展现状及问题 | 第14-19页 |
| ·衬底和电极材料对钛酸锶钡铁电薄膜结构和性能的影响 | 第19-21页 |
| ·衬底的影响 | 第19-20页 |
| ·电极材料的影响 | 第20-21页 |
| ·钛酸锶钡铁电薄膜的制备技术 | 第21-23页 |
| ·本论文的研究目的和内容 | 第23-24页 |
| 本章小节 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-30页 |
| 第二章 钛酸锶钡铁电薄膜的电学性能表征 | 第30-48页 |
| ·钛酸锶钡铁电薄膜的介电性能及其测试技术 | 第30-32页 |
| ·表征电介质材料介电性能的基本参量 | 第30-31页 |
| ·铁电薄膜介电性能测试方法 | 第31-32页 |
| ·铁电薄膜的热释电性能及其测试技术 | 第32-36页 |
| ·表征材料热释电性能的基本参量 | 第32-34页 |
| ·热电系数的测量 | 第34-36页 |
| ·铁电薄膜的铁电性能及其测试技术 | 第36-40页 |
| ·材料铁电性能的表征 | 第36-38页 |
| ·电滞回线的测量 | 第38-40页 |
| ·铁电薄膜的绝缘性能及其测试技术 | 第40-45页 |
| ·铁电材料的漏电机制及其对器件应用的影响 | 第40-44页 |
| ·铁电薄膜漏电特性的测试方法 | 第44-45页 |
| 本章小结 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 第三章 溶胶-凝胶法制备镍酸镧导电薄膜和钛酸锶钡铁电薄膜 | 第48-70页 |
| ·薄膜制备的溶胶-凝胶技术 | 第48-51页 |
| ·镍酸镧薄膜的制备及表征 | 第51-55页 |
| ·钛酸锶钡薄膜的制备及表征 | 第55-65页 |
| 本章小结 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 第四章 镍掺杂对钛酸锶钡铁电薄膜电学性能的影响 | 第70-81页 |
| ·铁电薄膜电容器主要漏电机制分析 | 第70-73页 |
| ·Ni掺杂(Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3薄膜的制备 | 第73-74页 |
| ·Ni掺杂(Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3薄膜样品的表征 | 第74-77页 |
| 本章小结 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 第五章 异质多层复合结构钛酸锶钡铁电薄膜的研究 | 第81-98页 |
| ·Sol-gel法制备MgO/(Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3多层薄膜及其介电和漏电特性研究 | 第81-88页 |
| ·MgO/(Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3多层薄膜的制备 | 第82-83页 |
| ·样品测试 | 第83-84页 |
| ·结果与讨论 | 第84-88页 |
| ·实验结论 | 第88页 |
| ·Sol-gel法制备 BST50/PZT50多层薄膜及其介电和漏电特性研究 | 第88-98页 |
| ·BST50/PZT50多层薄膜的溶胶-凝胶法制备 | 第89-90页 |
| ·样品测试方法 | 第90页 |
| ·结果与讨论 | 第90-94页 |
| ·实验结论 | 第94页 |
| 本章小结 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-98页 |
| 第六章 总结与展望 | 第98-101页 |
| ·本论文工作的主要结论 | 第98-99页 |
| ·研究展望 | 第99-101页 |
| 博、硕期间己发表和即将发表的论文 | 第101-102页 |
| 致谢 | 第102页 |
